Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию : учеб.-метод. пособие [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»]

Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию : учеб.-метод. пособие [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»] / Сиб. федер. ун-т, Ин-т инж. физики и радиоэлектроники ; сост. А. П. Гардымова. - Электрон. текст. данные (PDF, 674 Мб). - Красноярск : СФУ, 2015. - Загл. с титул. экрана. - Библиогр.: с. 18. - Изд. № 2015-1782. - Текст : электронный. Страница публикации

Доступ к полному тексту публикации ограничен. Варианты получения доступа:

Уже купили эту публикацию?