Аппараты полупроводникового производства : учеб.-метод. пособие для самост. работы студентов спец. 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия»
учебно-методический материал (самостоятельная работа)
Библиографическое описание:Аппараты полупроводникового производства : учеб.-метод. пособие для самост. работы студентов спец. 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия» / Сиб. федерал. ун-т ; сост.: Е. Д. Кравцова, Ю. Е. Спектор, Э. М. Никифорова. - Электрон. текстовые дан. (PDF, 270 Кб). - Красноярск : СФУ, 2012. - Загл. с титул. экрана. - Библиогр.: с. 17. - Б. ц. - Текст : электронный.
Аннотация:В учебно-методическом пособии приведены многовариантные задания для самостоятельного решения по расчету конструктивных параметров и технологических режимов работы оборудования, используемого в технологических процессах получения полупроводниковых материалов. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Металлургия», специальность 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия».
