Аннотация:Проведён сравнительный анализ структуры и свойств покрытий на основе тугоплавких соединений в зависимости от условий осаждения (температуры и потенциала подложки, парциального давления рабочего газа).Выявлены общие закономерности для твёрдых и сверхтвёрдых наноструктурных (нанокомпозитных) покрытий, состоящие в наличии столбчатой структуры и текстуры роста.Показано, что для карбидных и нитридных покрытий переходных металлов имеют место два возможных направления роста <111> и <100>, для диборидов переходных металлов таковым является <0001>.Проведён анализ влияния структурного состояния на изменение физико-механических характеристик нанокри
