1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
GaN-on-patterned-silicon (GPS) techniquefor fabrication ofGaN-based MEMS Zhenchuan YangRuonan WangDeliang Wang2006 год

GaN-on-patterned-silicon (GPS) technique for fabrication of GaN-based MEMS
статья из журнала

Страница публикацииПубликация в OpenAlex
Год издания: 2006
Авторы: Zhenchuan Yang, Ruonan Wang, Deliang Wang, Baoshun Zhang, Kei May Lau, Kevin J. Chen
Издательство: Elsevier BV
Источник: Sensors and Actuators A Physical
Ключевые слова: GaN-based semiconductor devices and materials, Plasma Diagnostics and Applications, Acoustic Wave Resonator Technologies