1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
Recent advances insilicon etching forMEMS using the ASE™process A. HynesHamza AshrafJy Bhardwaj1999 год

Recent advances in silicon etching for MEMS using the ASE™ process
статья из журнала

Страница публикацииПубликация в OpenAlex
Год издания: 1999
Авторы: A. Hynes, Hamza Ashraf, Jy Bhardwaj, J. Hopkins, Ian W. Johnston, Jennifer N. Hanson Shepherd
Издательство: Elsevier BV
Источник: Sensors and Actuators A Physical
Ключевые слова: Advanced MEMS and NEMS Technologies, Advanced Surface Polishing Techniques, Plasma Diagnostics and Applications