1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
Nitrogen-doped plasmaenhanced chemicalvapor deposited(PECVD) amorphouscarbon: processes andproperties Steven M. SmithS. VoightHarland G. Tompkins2001 год

Nitrogen-doped plasma enhanced chemical vapor deposited (PECVD) amorphous carbon: processes and properties
статья из журнала

Страница публикацииПубликация в OpenAlex
Год издания: 2001
Авторы: Steven M. Smith, S. Voight, Harland G. Tompkins, Andy Hooper, A. Alec Talin, Joseph B. Vella
Издательство: Elsevier BV
Источник: Thin Solid Films
Ключевые слова: Diamond and Carbon-based Materials Research, Metal and Thin Film Mechanics, Semiconductor materials and devices