1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
Vertical comb-fingercapacitive actuationand sensing forCMOS-MEMS Huikai XieGary K. Fedder2002 год

Vertical comb-finger capacitive actuation and sensing for CMOS-MEMS
статья из журнала

Страница публикацииПубликация в OpenAlex
Год издания: 2002
Авторы: Huikai Xie, Gary K. Fedder
Издательство: Elsevier BV
Источник: Sensors and Actuators A Physical
Ключевые слова: Advanced MEMS and NEMS Technologies, Mechanical and Optical Resonators, Geophysics and Sensor Technology