Перейти к основному содержанию
Библиотечно-издательский комплекс СФУ
Toggle navigation
Ресурсы
Библиотечный поиск
Каталог изданий университета
Университетские информационные ресурсы
Российские информационные ресурсы
Мировые информационные ресурсы
Периодические издания
Тематические путеводители
Книгообеспеченность учебного процесса
Приобретение литературы
Читателю
Регистрация читателей
Получение и возврат литературы
Межбиблиотечный абонемент
Тематические путеводители
Обучение работе с ресурсами
Доступная среда библиотеки
Подарить книгу библиотеке
Автору
Правила издания рукописей
План выпуска изданий
Размещение публикаций в библиотеке, репозитории, РИНЦ
Проверка
журнала
Служба поддержки публикационной
активности
Учёт публикаций в АИС
«Прометей»
Услуги
Справочник услуг и сервисов БИК
Новая заявка на услугу
Бронирование помещений
Контакты
Адреса и режим работы
Контакты
Вопрос-Ответ
Отправить отзыв
Ещё
О Научной библиотеке
Об Издательстве
Дилерство «САБ ИРБИС»
Красноярский ИРБИС-клуб
Литературный клуб «Высокий берег»
Подкаст «Пища для ума»
Вакансии
Часто задаваемые вопросы
Мобильное приложение
Карта сайта и поиск по сайту
Онлайн-медиа Научной библиотеки
Личный кабинет
Главная
Ресурсы
Библиотечный поиск
Influence of
substrate type on
surface structure of
polymeric
perfluorocarbon in
the initial stage of
deposition in
Ar/c-C4F8 plasmas
Kenji Furuya
Ryoichi Nakanishi
Hiroshi Okumura
2007 год
Influence of substrate type on surface structure of polymeric perfluorocarbon in the initial stage of deposition in Ar/c-C4F8 plasmas
статья из журнала
Страница публикации
Публикация в OpenAlex
Год издания:
2007
Авторы:
Kenji Furuya
,
Ryoichi Nakanishi
,
Hiroshi Okumura
,
Makoto Makita
,
Akira Harata
Издательство:
Elsevier BV
Источник:
Thin Solid Films
Ключевые слова:
Metal and Thin Film Mechanics, Diamond and Carbon-based Materials Research, Copper Interconnects and Reliability
Показать дополнительные сведения
DOI:
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.10.112
Открытый доступ:
closed
Том:
516
Выпуск:
18
Страницы:
6028–6032
