1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
Fabrication of anintegratedΔE-E-silicon detectorby wafer bondingusing cobaltdisilicide Göran ThungströmE. J. van VeldhuizenLars Westerberg1997 год

Fabrication of an integrated ΔE-E-silicon detector by wafer bonding using cobalt disilicide
статья из журнала

Страница публикацииПубликация в OpenAlex
Год издания: 1997
Авторы: Göran Thungström, E. J. van Veldhuizen, Lars Westerberg, Lars-Olov Norlin, C. S. Petersson
Издательство: Elsevier BV
Источник: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A Accelerators Spectrometers Detectors and Associated Equipment
Ключевые слова: Particle Detector Development and Performance, CCD and CMOS Imaging Sensors, Silicon and Solar Cell Technologies