1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
Condensationmechanisms andproperties of rfsputtered aSi:H Valerie A. LigachovV. A. FilikovV. N. Gordeev1991 год

Condensation mechanisms and properties of rf sputtered aSi:H
статья из журнала

Страница публикацииПубликация в OpenAlex
Год издания: 1991
Авторы: Valerie A. Ligachov, V. A. Filikov, V. N. Gordeev
Издательство: Elsevier BV
Источник: Vacuum
Ключевые слова: Semiconductor materials and interfaces, Thin-Film Transistor Technologies, Silicon Nanostructures and Photoluminescence