Аппараты полупроводникового производства : учебно-методический комплекс [для студентов по напр. 150100.62 «Металлургия», профиля 150400.62.00.08 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия»]электронный учебно-методический комплекс
Содержание
- РАБОЧАЯ ПРОГРАММА ДИСЦИПЛИНЫ
- КОНСПЕКТ ЛЕКЦИЙ
- УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ЛАБОРАТОРНЫХ РАБОТ
- УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗАНЯТИЙ
- КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ