Библиографическое описание:Кожевников, А. Ю. Измерение удельного сопротивления четырехзондовым методом и электрического сопротивления четырехконтактным устройством / А. Ю. Кожевников, Е. В. Егорова. - Текст : непосредственный // Успехи современной радиоэлектроники. - 2019. - № 3. - С. 60-65 : 2 рис. - Библиогр.: с. 64 (6 назв. ). - Заглавие, авторы, аннотация, библиография на английском языке приведены в конце статьи. - ISSN 2070-0784.
Аннотация:Предложен метод автоматизированного измерения сопротивлений с помощью четырехконтактного устройства и измерения удельного сопротивления полупроводника с помощью четырех зондов. Проанализирован метод, позволяющий контролировать целостность всех образуемых электрических цепей и исключать из результата измерений значения переходных и контактных сопротивлений, сопротивлений линий связи и ключей мультиплексора в образуемых электрических цепях. Рассмотрена эквивалентная схема расположения зондов и иных контактных устройств при измерениях сопротивлений и удельного сопротивления полупроводника.
