Библиографическое описание:Оценка добротности балочного микрорезонатора с учетом многослойности его структуры = An estimate for the quality factor of a beam microcavity taking into account the multilayer structure of its structure / А. Р. Бестугин [и др.]. - Текст : непосредственный // Успехи современной радиоэлектроники. - 2018. - № 2. - С. 46-50 : 3 рис. - Библиогр.: с. 49-50 (6 назв. ). - Аннотация, библиография, заглавие, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 0021-3470.
Аннотация:Рассмотрена усовершенствованная методика расчета добротности микромеханических резонаторов, применяемых в качестве вторичных измерительных преобразователей в МЭМС с частотно-модулированным выходным сигналом. На основе решения уравнения термоупругости для данной колебательной системы найдено распределение температуры в объеме резонатора, что позволяет рассчитать термоупругую компоненту внутреннего трения в балке и получить уточненное значение добротности.
