Библиографическое описание:Бестугин, А. Р. Потери кинетической энергии в МЕМС резонаторах = Losses of kinetic energy in MEMS resonators / А. Р. Бестугин, Л. В. Белова. - Текст : непосредственный // Успехи современной радиоэлектроники. - 2017. - № 12. - С. 116-120 : 4 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 120 (7 назв. ). - Радионавигация и связь. По материалам IV Всероссийской научно-технической конференции "Системы связи и радионавигации" (г. Красноярск, 2017), АО "НПП "Радиосвязь". - ISSN 0021-3470.
Аннотация:Исследованы основные механизмы потери энергии: воздушное затухание, акустические потери якоря, термоупругое демпфирование и внутреннее трение. Для каждого источника потери энергии на примере балочного резонатора, с заданными геометрическими параметрами, построены зависимости от нескольких параметров и рассмотрены методы определения численных значений. Приведены рекомендации по выбору параметров резонатора при проектировании электронных устройств.
