Библиографическое описание:Анализ зависимости процесса диссипации кинетической энергии в микрорезонаторах от температуры окружающей среды = Analysis of the dependence of the kinetic energy dissipation process in microcavities on the ambient temperature / А. Р. Бестугин [и др.]. - Текст : непосредственный // Успехи современной радиоэлектроники. - 2017. - № 12. - С. 125-128 : 2 рис. - Библиогр.: с. 128 (3 назв. ). - Радионавигация и связь. По материалам IV Всероссийской научно-технической конференции "Системы связи и радионавигации" (г. Красноярск, 2017), АО "НПП "Радиосвязь". - ISSN 0021-3470.
Аннотация:Исследованы задачи, связанные с уменьшением дрейфа основной частоты микромеханических резонаторов, обусловленных их разогревом в процессе работы из-за неизбежной диссипации кинетической энергии в упругом элементе термоупругим внутренним трением. Для математического описания термоупругого внутреннего трения в работе использована модель К. Зенера, соответствующая стандартному линейному телу. Показано, что уменьшение дрейфа, а, следовательно, и погрешности МЭМС в целом, может быть достигнуто понижением температуры в точках крепления резонатора к чувствительному элементу МЭМС.
