Библиографическое описание:Орлов, Л. К. Кинетика поверхностного пиролиза смеси газов силан-герман в условиях эпитаксиального наращивания слоев твердых растворов Si[1-x]Ge[x] / Л. К. Орлов, С. В. Ивин. - Текст : непосредственный // Журнал общей химии. - 2015. - Т. 85 (147): (147), вып. 12. - С. 1951-1965. - Библиогр.: с. 1964-1965. - ISSN 0044-460X.
Аннотация:Рассмотрены особенности пиролиза молекул гидридов на поверхности слоя Si[1-x]Ge[x] в условиях эпитаксиального роста пленки из смеси моногидридов кремния и германия.
