Исследованиепримесного составасилана, обогащенногоизотопом {29}Si,методомхромато-масс-спектрометрии Созин А. Ю.Чернова О. Ю.Буланов А. Д.2016 год

Исследование примесного состава силана, обогащенного изотопом {29}Si, методом хромато-масс-спектрометрии
статья из журнала