Библиографическое описание:Нарцев, В. М. Рентгенофлуоресцентный анализ состава тонких покрытий с использованием метода фундаментальных параметров / В. М. Нарцев, А. Б. Аткарская. - (Исследование структуры и свойств) (Физические методы исследования и контроля). - Текст : непосредственный // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2016. - Т. 82, № 3. - С. 29-35. - Библиогр.: с. 35 (13 назв. ). - ISSN 1028-6861.
Аннотация:Получены базовые уравнения метода фундаментальных параметров для рентгенофлуоресцентного анализа тонких покрытий, учитывающих прямое возбуждение и вторичную флуоресценцию. Представлены источники справочных данных для коэффициентов массового поглощения и фотопоглощения, вероятностей электронных переходов и флуоресценции, используемых в формулах. Предложены алгоритм определения состава такких покрытий на рентгенофлуоресцентных спектрометрах, настроенных под анализ массивных (без покрытия) образцов, и способы повышения точности расчета.
