Библиографическое описание:Концевой, Ю. А. Алгоритм расчета толщины тонких металлических пленок / Ю. А. Концевой, М. Н. Кондаков, И. Г. Петрова. - (Исследование структуры и свойств) (Физические методы исследования и контроля) (Обмен опытом). - Текст : непосредственный // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2016. - Т. 82, № 12. - С. 41-42. - Библиогр.: с. 42 (4 назв. ). - ISSN 1028-6861.
Аннотация:Показано, что толщину тонких металлических пленок, полученных термическим методом, можно определять с точностью, лучшей, чем 10 А.
