Синтез тонких пленок на основе ZnO, допированных Ga, In, и определение их состава методами рентгеновской спектроскопии и масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой
Библиографическое описание:Синтез тонких пленок на основе ZnO, допированных Ga, In, и определение их состава методами рентгеновской спектроскопии и масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой / Д. Г. Филатова [и др.]. - (Анализ вещества). - Текст : непосредственный // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2016. - Т. 82, № 11. - С. 17-21. - Библиогр.: с. 21 (8 назв. ). - ISSN 1028-6861.
Аннотация:Предложен подход для исследования состава синтезированных тонких пленок на основе цинка, допированных In и Ga, с применением методов локального рентгеноспектрального анализа и масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой. Установлена зависимость содержания и распределения добавок в образце от условий синтеза на вращающихся подложках. Показано, что определение допирующих примесей с содержанием менее 1 % ат. возможно только методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой.
