Библиографическое описание:Павлов, В. Ф. Причина уширения брэгговских дифракционных пиков, снятых от шлифованных поверхностей пластин монокристаллического кремния / В. Ф. Павлов. - (Исследование структуры и свойств) (Физические методы исследования и контроля). - Текст : непосредственный // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2015. - Т. 81, № 10. - С. 27-31. - Библиогр.: с. 31 (7 назв. ). - ISSN 1028-6861.
Аннотация:Рассмотрена причина уширения брегговских дифракционных пиков и изменения их интегральной ширины с изменением угла дифракции при дифрактометрической съемке дефектных слоев, образующихся на поверхности пластин при резке монокристаллических слитков кремния и последующей шлифовке. Для расчетов интегральной ширины брегговских дифракционных пиков использована упрощенная модель дефектных слоев, представляющая собой многослойную структуру, каждый слой которой состоит из хаотически линейно смещенных монокристаллических блоков. Предложена формула, объединяющая параметры дефектных слоев с интегральной шириной брегговских дифракционных пиков и шириной области полного отражения.
