1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Вестник машиностроения»
  5. Выпуск 2017 г. № 3
Повышение скоростироста толщиныпокрытия CrN/AlNуправлениемзагрязнением мишенипри магнетронномнапылении Букарев И. М.Собольков А. В.Аборкин А. В.2017 год

Повышение скорости роста толщины покрытия CrN/AlN управлением загрязнением мишени при магнетронном напылении
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Букарев, И. М. Повышение скорости роста толщины покрытия CrN/AlN управлением загрязнением мишени при магнетронном напылении / И. М. Букарев, А. В. Собольков, А. В. Аборкин. - (Технология машиностроения). - Текст : непосредственный // Вестник машиностроения. - 2017. - № 3. - С. 67-70. - Библиогр.: с. 70 (10 назв.). - ISSN 0042-4633.
Аннотация: Представлены результаты использования металлического режима распыления для очистки поверхности мишени непосредственно в ходе технологического процесса напыления покрытия. Показано, что введение в технологический процесс дополнительных этапов распыления в металлическом режиме позволяет на 23% повысить скорость роста толщины покрытия CrN/AlN, незначительно снижая его физико-механические свойства по сравнению с технологическим процессом непрерывного магнетронно-ионного реактивного распыления.
Год издания: 2017
Авторы: Букарев И. М. , Собольков А. В. , Аборкин А. В.
Источник: Вестник машиностроения
Выпуск: № 3
Номера страниц: 67-70
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

ИзносостойкиепокрытияTi-AI-Si-C-N,полученные методоммагнетронногораспыленияСВС-мишеней Кирюханцев-Корнеев Ф. В.Купцов К. А.Шевейко А. Н.2011 год

Износостойкие покрытия Ti-AI-Si-C-N, полученные методом магнетронного распыления СВС-мишеней

  • Кирюханцев-Корнеев Ф. В. и др.
  • 2011 год
Влияниеэлектропитаниямагнетроннойраспылительнойсистемы на свойстваосаждаемых пленокTiO[2] Абрамов Н. Ф.Безруков А. В.Вольпян О. Д.2017 год

Влияние электропитания магнетронной распылительной системы на свойства осаждаемых пленок TiO[2]

  • Абрамов Н. Ф. и др.
  • 2017 год
Детонационныепокрытия изкомпозиционныхматериалов системы(Ti, Cr)B[2]-NiAICr Коновла В. П.Уманский А. П.Бондаренко А. А.2020 год

Детонационные покрытия из композиционных материалов системы (Ti, Cr)B[2]-NiAICr

  • Коновла В. П. и др.
  • 2020 год
Влияние температурыотжига и толщиныпленки Ni/Ti,полученноймагнетроннымнапылением, на еемикроструктуру и… Патро С.Саксена К. К.Бехера А.2023 год

Влияние температуры отжига и толщины пленки Ni/Ti, полученной магнетронным напылением, на ее…

  • Патро С. и др.
  • 2023 год
Структура иизносостойкостьэлектроискровыхпокрытий системыFeNiCrBSiC-MeB[2] Стороженко М. С.Уманский А. П.Тарельник В. Б.2020 год

Структура и износостойкость электроискровых покрытий системы FeNiCrBSiC-MeB[2]

  • Стороженко М. С. и др.
  • 2020 год
Высокоскоростноевоздушно-газовоеплазменное напылениеплакированногопорошка (Ti, Cr) C-32процента (мас.) Ni Борисов Ю. С.Борисова А. Л.Коломыцев М. В.2017 год

Высокоскоростное воздушно-газовое плазменное напыление плакированного порошка (Ti, Cr) C-32…

  • Борисов Ю. С. и др.
  • 2017 год
Исследование влиянияконцентрации Si нажаростойкостьпокрытий Mo-Si-B-(N) Кирюханцев-Корнеев Ф. В.Андреев С. О.Швындина Н. В.2013 год

Исследование влияния концентрации Si на жаростойкость покрытий Mo-Si-B-(N)

  • Кирюханцев-Корнеев Ф. В. и др.
  • 2013 год
Математическоемоделированиеориентации деталей впроцессемагнетронногонапылениятонкопленочныхпокрытий на… Беляев С. Н.Васильков С. Д.Щербак А. Г.2014 год

Математическое моделирование ориентации деталей в процессе магнетронного напыления тонкопленочных…

  • Беляев С. Н. и др.
  • 2014 год

Показать ещё

Восстановлениедеталей тяжелонагруженных узловтрениявоздушно-плазменнымнапылением покрытийповышенной толщины Кравченко И. Н.Пузряков А. Ф.Бобряшов Е. М.2013 год

Восстановление деталей тяжело нагруженных узлов трения воздушно-плазменным напылением покрытий…

  • Кравченко И. Н. и др.
  • 2013 год
Технология взрывногоплакированиязаготовок твердымисплавами Крохалев А. В.Авдеюк О. А.Приходьков К. В.2013 год

Технология взрывного плакирования заготовок твердыми сплавами

  • Крохалев А. В. и др.
  • 2013 год
Нанесение медныхпокрытий на стальгазодинамическимнапылением Архипов В. Е.Лондарский А. Ф.Москвитин Г. В.2012 год

Нанесение медных покрытий на сталь газодинамическим напылением

  • Архипов В. Е. и др.
  • 2012 год
Вплив хiмiчногоскладу електроднихматерiалiв та режимiвлегування навластивостiелектроiскровихпокриттiв Коновал В. П.Уманський О. П.Панасюк А. Д.2014 год

Вплив хiмiчного складу електродних матерiалiв та режимiв легування на властивостi електроiскрових…

  • Коновал В. П. и др.
  • 2014 год
Оптический контрольсостава газовой смесив процессереактивногомагнетронногораспыления Кострин Д. К.2015 год

Оптический контроль состава газовой смеси в процессе реактивного магнетронного распыления

  • Кострин Д. К.
  • 2015 год
Технологическиеособенностигазодинамическогонапыления покрытий Архипов В. Е.Лондарский А. Ф.Мельшанов А. Ф.2015 год

Технологические особенности газодинамического напыления покрытий

  • Архипов В. Е. и др.
  • 2015 год
Электродныематериалы,композиционные имногослойныеэлектроискровыепокрытия из сплавовсистем Ni-Cr, WC-Co иметаллов Тарельник В. Б.Паустовский А. В.Ткаченко Ю. Г.2016 год

Электродные материалы, композиционные и многослойные электроискровые покрытия из сплавов систем…

  • Тарельник В. Б. и др.
  • 2016 год
Особенностиформированияэлектроискровыхпокрытий системыFeNiCrBSiC-MeB[2] настали Уманский А. П.Стороженко М. С.Тарельник В. Б.2020 год

Особенности формирования электроискровых покрытий системы FeNiCrBSiC-MeB[2] на стали

  • Уманский А. П. и др.
  • 2020 год