Библиографическое описание:Букарев, И. М. Повышение скорости роста толщины покрытия CrN/AlN управлением загрязнением мишени при магнетронном напылении / И. М. Букарев, А. В. Собольков, А. В. Аборкин. - (Технология машиностроения). - Текст : непосредственный // Вестник машиностроения. - 2017. - № 3. - С. 67-70. - Библиогр.: с. 70 (10 назв.). - ISSN 0042-4633.
Аннотация:Представлены результаты использования металлического режима распыления для очистки поверхности мишени непосредственно в ходе технологического процесса напыления покрытия. Показано, что введение в технологический процесс дополнительных этапов распыления в металлическом режиме позволяет на 23% повысить скорость роста толщины покрытия CrN/AlN, незначительно снижая его физико-механические свойства по сравнению с технологическим процессом непрерывного магнетронно-ионного реактивного распыления.
