Библиографическое описание:Кириллов, А. А. Двухкоординатный сканирующий стол с электромеханическими приводами на базе планетарных роликовинтовых передач для нанотехнологического оборудования / А. А. Кириллов, О. В. Федотов, В. Н. Филимонов. - (Конструирование, расчет, испытания и надежность машин). - Текст : непосредственный // Вестник машиностроения. - 2014. - № 8. - С. 22-28. - Библиогр.: с. 28 (13 назв.). - ISSN 0042-4633.
Аннотация:Представлен анализ выпускаемых специализированных координатных столов для нанотехнологического оборудования, результаты которого использованы в разработке технического проекта двухкоординатного сканирующего стола на базе планетарных роликовинтовых передач.
