1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика»
  5. Выпуск 2015 г. № 3
Вопросы созданиямикроэлектронныхдатчиков давления,эксплуатирующихся вособо жесткихусловиях Баринов И. Н.Волков В. С.Кудрявцева Д. А.2015 год

Вопросы создания микроэлектронных датчиков давления, эксплуатирующихся в особо жестких условиях
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (В 748)
Библиографическое описание: Вопросы создания микроэлектронных датчиков давления, эксплуатирующихся в особо жестких условиях / И. Н. Баринов [и др.]. - Текст : непосредственный // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. - 2015. - № 3. - С. 39-50. - ISSN 2073-0004.
Аннотация: Рассмотрены датчики давления на основе структур “кремний-на-диэлектрике”, карбида кремния, поликристаллического алмаза для особо жестких условий эксплуатации. Рассмотрены конструкции датчиков, достоинства и недостатки применяемых материалов и особенности топологий чувствительных элементов. Описана возможность изменения проводимости тензорезисторов из карбида кремния и поликристаллического алмаза путем легирования соответствующими примесями. Предложен способ снижения температурной зависимости и устранения дрейфа выходного сигнала микроэлектронных датчиков абсолютного давления за счет использования микропленочных геттеров. Предложено конструктивно - технологическое решение для улучшения характеристик микроэлектронных датчиков давления за счет совершенствования технологии диффузионной сварки, позволяющей исключить вакуумплотный барьер при изготовлении полости опорного давления в датчиках абсолютного давления. Рассмотрено применение технологии беспроводной сборки, обеспечивающей создание высокотемпературных контактов к чувствительному элементу датчика.
Год издания: 2015
Авторы: Баринов И. Н. , Волков В. С. , Кудрявцева Д. А. , Цыпин Б. В.
Источник: Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика
Выпуск: № 3
Номера страниц: 39-50
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Разработка иизготовлениемикроэлектронныхдатчиков давления дляособо жестких условийэксплуатации Баринов Илья НиколаевичВолков Вадим СергеевичЦыпин Борис Вульфович2014 год

Разработка и изготовление микроэлектронных датчиков давления для особо жестких условий эксплуатации

  • Баринов Илья Николаевич и др.
  • 2014 год
Повышение надежностидатчиков давления дляэксплуатации вжестких условиях Фролов Михаил Алексеевич2015 год

Повышение надежности датчиков давления для эксплуатации в жестких условиях

  • Фролов Михаил Алексеевич
  • 2015 год
Малогабаритныедатчики давления наоснове кремниевыхполикристаллическихструктур сдиэлектрическойизоляцией Львов Алексей АрленовичКоновалов Роман Станиславович2015 год

Малогабаритные датчики давления на основе кремниевых поликристаллических структур с…

  • Львов Алексей Арленович и др.
  • 2015 год
К вопросу о точностиопределенияабсолютной высотымобильного узла спомощью сетираспределенныхдатчиков давления Мощевикин А. П.2015 год

К вопросу о точности определения абсолютной высоты мобильного узла с помощью сети распределенных…

  • Мощевикин А. П.
  • 2015 год
Повышение стойкостипри резаниитруднообрабатываемыхматериалов резцом,оснащеннымсверхтвердымматериалом Селезнев А. Д.2024 год

Повышение стойкости при резании труднообрабатываемых материалов резцом, оснащенным сверхтвердым…

  • Селезнев А. Д.
  • 2024 год
Комплекс скважинной иустьевойвзрывоустойчивойаппаратуры длярегистрациипараметровбыстропротекающихпроцессов и… Меркулов А. А.Сильвачев В. В.2015 год

Комплекс скважинной и устьевой взрывоустойчивой аппаратуры для регистрации параметров…

  • Меркулов А. А. и др.
  • 2015 год
Алгоритм коррекцииошибок измеренийдатчиков давления налинейной частимагистральногонефтепровода Агафонов Е. Д.Антропов Н. Р.2016 год

Алгоритм коррекции ошибок измерений датчиков давления на линейной части магистрального нефтепровода

  • Агафонов Е. Д. и др.
  • 2016 год
Зондовый методконтроля удельногосопротивления тонкихпленок интегральныхмикросхем прирасположении зондовв… Арешкин А. А.2015 год

Зондовый метод контроля удельного сопротивления тонких пленок интегральных микросхем при…

  • Арешкин А. А.
  • 2015 год

Показать ещё

Изучение структурыполикристаллов наоснове алмазныхмикропорошков послемодифицированиякарбидообразующимиэлементами Сенють Владимир ТадеушевичЖорник Виктор ИвановичПарницкий Александр Михайлович2016 год

Изучение структуры поликристаллов на основе алмазных микропорошков после модифицирования…

  • Сенють Владимир Тадеушевич и др.
  • 2016 год
ПовышениечувствительностиМЭМ-датчиков давленияоптимизациейтопологии вторичныхизмерительныхпреобразователей Окин Павел Александрович2016 год

Повышение чувствительности МЭМ-датчиков давления оптимизацией топологии вторичных измерительных…

  • Окин Павел Александрович
  • 2016 год
Проблемыэксплуатационнойбезопасности вэлектроприводах спараллельнымиканаламирегулирования и путиих решения Цытович Л. И.Брылина О. Г.Сидоров А. И.2015 год

Проблемы эксплуатационной безопасности в электроприводах с параллельными каналами регулирования и…

  • Цытович Л. И. и др.
  • 2015 год
Разработкапромышленной системыконтроля качестваизоляции кабелейметодом частичныхразрядов Моногаров О. И.2015 год

Разработка промышленной системы контроля качества изоляции кабелей методом частичных разрядов

  • Моногаров О. И.
  • 2015 год
Методическиепогрешностимикроэлектромеханических датчиков давленияпри изотропноммоделировании упругихсвойств… Бестугин Александр РоальдовичКиршина Ирина АнатольевнаОкин Павел Александрович2015 год

Методические погрешности микроэлектромеханических датчиков давления при изотропном моделировании…

  • Бестугин Александр Роальдович и др.
  • 2015 год
Синтез композитов наосновемодифицированныхкремниемдетонационныхнаноалмазов Сенють Владимир ТадеушевичВитязь Петр АлександровичВалькович Игорь Владимирович2018 год

Синтез композитов на основе модифицированных кремнием детонационных наноалмазов

  • Сенють Владимир Тадеушевич и др.
  • 2018 год
Возможные сценарииаварийных ситуаций нарезервуарах итрубопроводах принизких температурахэксплуатации Махутов Н. А.Большаков А. М.Захаров М. И.2015 год

Возможные сценарии аварийных ситуаций на резервуарах и трубопроводах при низких температурах…

  • Махутов Н. А. и др.
  • 2015 год
Автоматическоеобнаружениенеисправных роликовленточных конвейеровволоконно-оптическимтепловым датчикомТОРЕКС Сайдулин Е. Г.Рукин М. В.Шелемба И. С.2020 год

Автоматическое обнаружение неисправных роликов ленточных конвейеров волоконно-оптическим тепловым…

  • Сайдулин Е. Г. и др.
  • 2020 год