Влияние технологииизготовления пластинмонокристалла кремнияна распределениеостаточных напряженийи состояниеповерхностного слоя Барабанова О. А.Александрова С. С.2024 год

Влияние технологии изготовления пластин монокристалла кремния на распределение остаточных напряжений и состояние поверхностного слоя
статья из журнала