Библиографическое описание:Датчик давления с алмазным чувствительным элементом / А. А. Алтухов [и др.]. - (Измерительная техника). - Текст : непосредственный // СТИН. - 2017. - № 2. - С. 32-36. - Библиогр.: с. 36 (4 назв. ). - ISSN 0869-7566.
Аннотация:Прогресс в науке и технике, внедрение новых и совершенствование существующих технологий в станкостроении в значительной степени определяются уровнем развития автоматических и автоматизированных систем управления, контроля и диагностики, а также уровнем технического совершенства их элементов. Основа любых информационно-измерительных систем управления и контроля - датчики, которые не только первыми воспринимают информацию об измеряемой механической величине, но и подвержены влиянию дестабилизирующих физических факторов, сопровождающих работу станков. В настоящей работе описано устройство, технология изготовления датчика давления, разработанного нами на основе алмазных материалов. Изготовлены и испытаны емкостные датчики давления с алмазной мембраной, с емкостью 8 пФ и чувствительностью 0, 38 пФ/кПа.
Ключевые слова:датчики давления, CDV алмазы, алмазные датчики, чувствительные элементы, станкостроение, автоматические системы управления, автоматизированные системы управления, системы контроля, системы диагностики, информационно-измерительные системы управления, системы управления, датчики, станки, алмазные материалы, датчики с алмазной мембраной, коэффициент Пуассона, Пуассона коэффициент, модуль Юнга, Юнга модуль, конденсаторы, режущие кромки, координатно-перемещающиеся устройства, металлостеклянные корпуса, электронные схемы считывания, экспериментальные исследования, микроэлектронные датчики давления, метрологические характеристики, эксплуатационные характеристики
Рубрики:Приборостроение, Материалы в приборостроении
