Библиографическое описание:Порошин, В. В. Автоматизированная измерительная система для трехмерного анализа и контроля топографии поверхности в нанодиапазоне / В. В. Порошин, Д. Ю. Богомолов, О. В. Порошин. - (Измерительная техника). - Текст : непосредственный // СТИН. - 2015. - № 5. - С. 37-40. - Библиогр.: с. 40 (4 назв. ). - ISSN 0869-7566.
Аннотация:Представлена автоматическая измерительная система для высокоточного трехмерного анализа и контроля топографии поверхности в нанодиапазоне. Измерительная система базируется на метрологическом атомном силовом микроскопе, оснащенном модифицированным измерительным столиком с расширенным диапазоном горизонтальных перемещений. В системе реализован количественный трехмерный анализ текстуры поверхности в соответствии с международным стандартом ISO 25178 - 2: 2012.
