1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Стекло и керамика»
  5. Выпуск 2023 г. № 5
Снижениетрещинообразованияпри абразивнойобработке алмазнымипастамиполупроводниковыхпластин из карбидакремния Бишутин С. Г.Алехин С. С.2023 год

Снижение трещинообразования при абразивной обработке алмазными пастами полупроводниковых пластин из карбида кремния
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Б 676)
Библиографическое описание: Бишутин, С. Г. Снижение трещинообразования при абразивной обработке алмазными пастами полупроводниковых пластин из карбида кремния / С. Г. Бишутин, С. С. Алехин. - Текст : непосредственный // Стекло и керамика. - 2023. - № 5. - С. 46-51 : 2 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 50 (5 назв.). - ISSN 0131-9582.
Аннотация: Представлены результаты алмазно-абразивной обработки обратной стороны полупроводниковых пластин из карбида кремния политипов 4H и 6H. Исследованы размеры поверхностных микротрещин керамических пластин после абразивной обработки пастами с алмазным микропорошком различной зернистости, а также установлена взаимосвязь между длиной поверхностной микротрещины и скоростью съема материала, зависящей от технологических режимов алмазно-абразивной обработки. В результате предложен новый способ односторонней абразивной обработки тонких керамических пластин, обеспечивающий снижение трещинообразования.
Год издания: 2023
Авторы: Бишутин С. Г. , Алехин С. С.
Источник: Стекло и керамика
Выпуск: № 5
Номера страниц: 46-51
Количество экземпляров:
  • Читальный зал Б401 Президентской б-ки им. Б.Н. Ельцина (пр. Свободный, 79, Б4-01): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Способы формированиясложнопрофильныхизделий изжаростойкихкерамическихматериалов на основекарбида кремния Марков М. А.Беляков А. Н.Дюскина Д. А.2023 год

Способы формирования сложнопрофильных изделий из жаростойких керамических материалов на основе…

  • Марков М. А. и др.
  • 2023 год
Результатыисследования нациклическую прочностьразработанной режущейкерамики Пронин А. И.Мыльников В. В.Веселов С. В.2022 год

Результаты исследования на циклическую прочность разработанной режущей керамики

  • Пронин А. И. и др.
  • 2022 год
Синтактические пенына основеполыхкерамическихмикросфер иполикарбосилана Чухланов В. Ю.Селиванов О. Г.Чухланова Н. В.2022 год

Синтактические пены на основе полыхкерамических микросфер и поликарбосилана

  • Чухланов В. Ю. и др.
  • 2022 год
Экспериментальноеопределение удельнойэнергии разрушениякерамики на основекарбида кремния привоздействии… Горевой А. Г.Коваленко А. Ф.Митрошков И. А.2025 год

Экспериментальное определение удельной энергии разрушения керамики на основе карбида кремния при…

  • Горевой А. Г. и др.
  • 2025 год
Трибологическоеповедение жидкофазнойспеченнойSiC-керамики в сухихусловиях Чен Х.Ву Ц.Ма Ц.2022 год

Трибологическое поведение жидкофазной спеченной SiC-керамики в сухих условиях

  • Чен Х. и др.
  • 2022 год
Оценка броневыхсвойств керамическогоматериалаалмаз-карбид кремния,полученноготехнологиейреакционного спекания Беляков А. Н.Марков М. А.Каштанов А. Д.2025 год

Оценка броневых свойств керамического материала алмаз-карбид кремния, полученного технологией…

  • Беляков А. Н. и др.
  • 2025 год
Применение аддитивныхтехнологий дляизготовлениякерамическихматериалов на основекарбида кремния Качаев А. А.Ваганова М. Л.Лебедева Ю. Е.2022 год

Применение аддитивных технологий для изготовления керамических материалов на основе карбида кремния

  • Качаев А. А. и др.
  • 2022 год
Синтез цинк- имарганецсодержащейпирохлороподобнойкерамики Чиркова Д. С.Королев Р. И.Макеев Б. А.2024 год

Синтез цинк- и марганецсодержащей пирохлороподобной керамики

  • Чиркова Д. С. и др.
  • 2024 год

Показать ещё

Влияние температурына свойства свободнонасыпанных оксидныхнаноразмерныхнеорганическихпорошков Гапоненко В. Р.Бардаханов С. П.Труфанов Д. Ю.2023 год

Влияние температуры на свойства свободно насыпанных оксидных наноразмерных неорганических порошков

  • Гапоненко В. Р. и др.
  • 2023 год
Керамическиематериалы на основеAl[2]O[3] дляLTCC-технологии Волощук Д. С.Анисимов В. В.Макаров Н. А.2022 год

Керамические материалы на основе Al[2]O[3] для LTCC-технологии

  • Волощук Д. С. и др.
  • 2022 год
Рентгеновскаяфотоэлектроннаяспектроскопияоксидной керамикиBi[2]Ni[1/2]Co[1/2]Na[2]O[9+- дельта] Паршукова К. Н.Некипелов С. В.Жук Н. А.2024 год

Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия оксидной керамики Bi[2]Ni[1/2]Co[1/2]Na[2]O[9+- дельта]

  • Паршукова К. Н. и др.
  • 2024 год
Исследование свойствклинкерной керамики сиспользованиемдобавки альбитофираразличной фракции Иванов О. А.Семеновых М. А.Скрипникова Н. К.2025 год

Исследование свойств клинкерной керамики с использованием добавки альбитофира различной фракции

  • Иванов О. А. и др.
  • 2025 год
Разработкакерамическихматериалов на основекарбида кремния сдобавкой карбида бора Агуреев Л. Е.Савушкина С. В.Иванова С. Д.2025 год

Разработка керамических материалов на основе карбида кремния с добавкой карбида бора

  • Агуреев Л. Е. и др.
  • 2025 год
СинтезнанокристаллическойкерамикиBi[2]Cr[0,5]Co[0,5]Nb[2]O[9+A] Баданина К. А.Королев Р. И.Макеев Б. А.2024 год

Синтез нанокристаллической керамики Bi[2]Cr[0,5]Co[0,5]Nb[2]O[9+A]

  • Баданина К. А. и др.
  • 2024 год
Влияние соотношенияспекающих добавокMgO/CaO на оптическиесвойства керамикиYAG:Cr Кравцов А. А.Супрунчук В. Е.Тарала В. А.2024 год

Влияние соотношения спекающих добавок MgO/CaO на оптические свойства керамики YAG:Cr

  • Кравцов А. А. и др.
  • 2024 год
Корундовая керамикана основе российскогосырья с пониженнойтемпературой спекания Казаков С. А.Першаев Д. А.Макаров Н. А.2025 год

Корундовая керамика на основе российского сырья с пониженной температурой спекания

  • Казаков С. А. и др.
  • 2025 год