Библиографическое описание:Бишутин, С. Г. Снижение трещинообразования при абразивной обработке алмазными пастами полупроводниковых пластин из карбида кремния / С. Г. Бишутин, С. С. Алехин. - Текст : непосредственный // Стекло и керамика. - 2023. - № 5. - С. 46-51 : 2 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 50 (5 назв.). - ISSN 0131-9582.
Аннотация:Представлены результаты алмазно-абразивной обработки обратной стороны полупроводниковых пластин из карбида кремния политипов 4H и 6H. Исследованы размеры поверхностных микротрещин керамических пластин после абразивной обработки пастами с алмазным микропорошком различной зернистости, а также установлена взаимосвязь между длиной поверхностной микротрещины и скоростью съема материала, зависящей от технологических режимов алмазно-абразивной обработки. В результате предложен новый способ односторонней абразивной обработки тонких керамических пластин, обеспечивающий снижение трещинообразования.
