Библиографическое описание:Способ обработки кварцевой оснастки в процессе изготовления структур микро- и наноэлектроники / Т. А. Исламов [и др.]. - (На предприятиях и в институтах). - Текст : непосредственный // Стекло и керамика. - 2018. - № 12. - С. 37-39 : 1 табл. - Библиогр.: с. 38-39 (23 назв.). - ISSN 0131-9582.
Аннотация:Проведены исследования влияния различных способов обработки кварцевой оснастки в целях полного удаления труднорастворимых пленок боросиликатного и фосфоросиликатного стекол. Приведены оптимальные технологические режимы обработки кварцевой оснастки.
