1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Стекло и керамика»
  5. Выпуск 2018 г. № 12
Способ обработкикварцевой оснастки впроцессе изготовленияструктур микро- инаноэлектроники Исламов Т. А.Саркаров Т. Э.Шахмаева А. Р.2018 год

Способ обработки кварцевой оснастки в процессе изготовления структур микро- и наноэлектроники
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (С 737)
Библиографическое описание: Способ обработки кварцевой оснастки в процессе изготовления структур микро- и наноэлектроники / Т. А. Исламов [и др.]. - (На предприятиях и в институтах). - Текст : непосредственный // Стекло и керамика. - 2018. - № 12. - С. 37-39 : 1 табл. - Библиогр.: с. 38-39 (23 назв.). - ISSN 0131-9582.
Аннотация: Проведены исследования влияния различных способов обработки кварцевой оснастки в целях полного удаления труднорастворимых пленок боросиликатного и фосфоросиликатного стекол. Приведены оптимальные технологические режимы обработки кварцевой оснастки.
Год издания: 2018
Авторы: Исламов Т. А. , Саркаров Т. Э. , Шахмаева А. Р. , Шангереева Б. А.
Источник: Стекло и керамика
Выпуск: № 12
Номера страниц: 37-39
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Стеклообразованиестекол в системематериалов кварцевыйпесок - колеманит -сода Онищук В. И.Жерновая Н. Ф.Скурятина Е. Ю.2018 год

Стеклообразование стекол в системе материалов кварцевый песок - колеманит - сода

  • Онищук В. И. и др.
  • 2018 год
Влияние содержанияколлоидногокомпонента в шликерена основе кварцевогостекла на процессспекания кварцевойкерамики Харитонов Д. В.Анашкина А. А.Моторнова М. С.2019 год

Влияние содержания коллоидного компонента в шликере на основе кварцевого стекла на процесс…

  • Харитонов Д. В. и др.
  • 2019 год
Мелкозернистаянеоднородностькварцевого стекла Насыров Р. Ш.Бодунов Б. П.Артемьев Д. А.2018 год

Мелкозернистая неоднородность кварцевого стекла

  • Насыров Р. Ш. и др.
  • 2018 год
Влияние кальция,бария и стронция натермические свойстваборосиликатных стекол Еремяшев В. Е.Жеребцов Д. А.Осипова Л. М.2017 год

Влияние кальция, бария и стронция на термические свойства боросиликатных стекол

  • Еремяшев В. Е. и др.
  • 2017 год
Реологические основыполучения полыхстеклянных микросферна основещелочно-боросиликатных систем Бобкова Н. М.Савчин В. В.Трусова Е. Е.2018 год

Реологические основы получения полых стеклянных микросфер на основе щелочно-боросиликатных систем

  • Бобкова Н. М. и др.
  • 2018 год
Кинетика структурнойрелаксацииборосиликатныхрасплавов Ватолина Н. Д.Добрынина Н. Ю.Ватолин А. Н.2018 год

Кинетика структурной релаксации боросиликатных расплавов

  • Ватолина Н. Д. и др.
  • 2018 год
Вакуумная плавкакварцевого стекла спослойным наполнениемтигля Насыров Р. Ш.Лопатин В. М.2017 год

Вакуумная плавка кварцевого стекла с послойным наполнением тигля

  • Насыров Р. Ш. и др.
  • 2017 год
Защита поверхностикремниевых подложекна основелегкоплавкого стекладля изготовлениякремниевыхтранзисторов Исмаилов Т. А.Саркаров Т. Э.Шангереева Б. А.2017 год

Защита поверхности кремниевых подложек на основе легкоплавкого стекла для изготовления кремниевых…

  • Исмаилов Т. А. и др.
  • 2017 год

Показать ещё

Влияние температурына устойчивостьсмачивающих пленокводы на поверхностикварца Евдокимов С. И.Герасименко Т. Е.Евдокимов В. С.2018 год

Влияние температуры на устойчивость смачивающих пленок воды на поверхности кварца

  • Евдокимов С. И. и др.
  • 2018 год
Градиентныеоптические элементы:методы получения иизмерения профилейраспределениякоэффициентапреломления Коган В. Е.Шахпаронова Т. С.2017 год

Градиентные оптические элементы: методы получения и измерения профилей распределения коэффициента…

  • Коган В. Е. и др.
  • 2017 год
Особенностипроектированиятранспортно-технологических линийразгрузкикондиционногокварцевого песка всоставных цехах Ефременков В. В.2019 год

Особенности проектирования транспортно-технологических линий разгрузки кондиционного кварцевого…

  • Ефременков В. В.
  • 2019 год
Физико-химическиесвойства легкоплавкихфосфатных стекол взависимости отсодержания оксидаолова Чакветадзе Д. К.Зинина Э. М.Спиридонов Ю. А.2019 год

Физико-химические свойства легкоплавких фосфатных стекол в зависимости от содержания оксида олова

  • Чакветадзе Д. К. и др.
  • 2019 год
Машинный экспериментна моделях динамикиполя механическихнапряженийстеклоизделий сложнойконфигурации при ихотжиге Рубанов В. Г.Луценко О. В.Паращук Е. М.2018 год

Машинный эксперимент на моделях динамики поля механических напряжений стеклоизделий сложной…

  • Рубанов В. Г. и др.
  • 2018 год
Формированиекристаллическойструктуры поверхностикремния под влияниемактивных сред впроцессе полировки Канаев А. А.Городецкий А. Е.2014 год

Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе…

  • Канаев А. А. и др.
  • 2014 год
Вольфрамсодержащиерентгеноконтрастныебиоактивные стекла:получение и свойства Медков М. А.Грищенко Д. Н.Курявый В. Г.2018 год

Вольфрамсодержащие рентгеноконтрастные биоактивные стекла: получение и свойства

  • Медков М. А. и др.
  • 2018 год
Использование теплотырасплава стекломассыс помощьюциркулирующих дымовыхгазов Соколов Б. А.Абакин Д. А.2017 год

Использование теплоты расплава стекломассы с помощью циркулирующих дымовых газов

  • Соколов Б. А. и др.
  • 2017 год