1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Стекло и керамика»
  5. Выпуск 2017 г. № 5
Защита поверхностикремниевых подложекна основелегкоплавкого стекладля изготовлениякремниевыхтранзисторов Исмаилов Т. А.Саркаров Т. Э.Шангереева Б. А.2017 год

Защита поверхности кремниевых подложек на основе легкоплавкого стекла для изготовления кремниевых транзисторов
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (З-402)
Библиографическое описание: Защита поверхности кремниевых подложек на основе легкоплавкого стекла для изготовления кремниевых транзисторов / Т. А. Исмаилов [и др.]. - (Покрытия). - Текст : непосредственный // Стекло и керамика. - 2017. - № 5. - С. 25-28. - Библиогр.: с. 28 (5 назв.). - ISSN 0131-9582.
Аннотация: Предложены различные методы защиты поверхности кремниевых подложек для изготовления кремниевых транзисторов. Приведены результаты проведения термических операций с технологическими режимами получения легкоплавкого стеклообразного слоя в целях защиты поверхности подложек p-n-переходов от различных внешних воздействий.
Год издания: 2017
Авторы: Исмаилов Т. А. , Саркаров Т. Э. , Шангереева Б. А. , Шахмаева А. Р.
Источник: Стекло и керамика
Выпуск: № 5
Номера страниц: 25-28
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Защита полированнойповерхностиоптического стекла отвоздействияокружающей среды Кручинин Д. Ю.Фарафонтова Е. П.2016 год

Защита полированной поверхности оптического стекла от воздействия окружающей среды

  • Кручинин Д. Ю. и др.
  • 2016 год
Кондиционированиестекла на поверхностирасплава меди вканале питателя печидля производствастеклянной тары Соколов Б. А.Абакин Д. А.2017 год

Кондиционирование стекла на поверхности расплава меди в канале питателя печи для производства…

  • Соколов Б. А. и др.
  • 2017 год
Материалы для защитыповерхности трубтепловых котлов Руми М. Х.Нурматов Ш. Р.Мансурова Э. П.2017 год

Материалы для защиты поверхности труб тепловых котлов

  • Руми М. Х. и др.
  • 2017 год
3D-матрикс на основебиоактивного стекла ифосфатов кальция срегулируемойскоростью резорбциидля замещениякостной… Свентская Н. В.Лукина Ю. С.Ларионов Д. С.2016 год

3D-матрикс на основе биоактивного стекла и фосфатов кальция с регулируемой скоростью резорбции…

  • Свентская Н. В. и др.
  • 2016 год
Ячеистое стекло наоснове золошлаковыхотходов дляизготовленияэнергоэффективныхтрехслойныхстроительных панелей Смолий В. А.Косарев А. С.Яценко Е. А.2019 год

Ячеистое стекло на основе золошлаковых отходов для изготовления энергоэффективных трехслойных…

  • Смолий В. А. и др.
  • 2019 год
Композиционныйматериал на основеоксифторидногобарийбороалюмосиликатного стекла иAl[2]O[3] длятехнологии LTCC Костанян А. К.Манукян А. Г.Саргсян К. А.2025 год

Композиционный материал на основе оксифторидного барийбороалюмосиликатного стекла и Al[2]O[3] для…

  • Костанян А. К. и др.
  • 2025 год
Физико-химическиесвойства легкоплавкихфосфатных стекол взависимости отсодержания оксидаолова Чакветадзе Д. К.Зинина Э. М.Спиридонов Ю. А.2019 год

Физико-химические свойства легкоплавких фосфатных стекол в зависимости от содержания оксида олова

  • Чакветадзе Д. К. и др.
  • 2019 год
Подложки на основекорунда длямембранных процессов Колесников В. А.Лемешев Д. О.Яровая О. В.2015 год

Подложки на основе корунда для мембранных процессов

  • Колесников В. А. и др.
  • 2015 год

Показать ещё

Способ обработкикварцевой оснастки впроцессе изготовленияструктур микро- инаноэлектроники Исламов Т. А.Саркаров Т. Э.Шахмаева А. Р.2018 год

Способ обработки кварцевой оснастки в процессе изготовления структур микро- и наноэлектроники

  • Исламов Т. А. и др.
  • 2018 год
Влияние температурына устойчивостьсмачивающих пленокводы на поверхностикварца Евдокимов С. И.Герасименко Т. Е.Евдокимов В. С.2018 год

Влияние температуры на устойчивость смачивающих пленок воды на поверхности кварца

  • Евдокимов С. И. и др.
  • 2018 год
Пути повышенияпрочности стекла.Модификацияповерхностного слоястекла Солинов В. Ф.2016 год

Пути повышения прочности стекла. Модификация поверхностного слоя стекла

  • Солинов В. Ф.
  • 2016 год
Композитные оптическипрозрачныетокопроводящиепокрытия настеклянной подложке Колесников В. А.Морозов А. Н.Крюков А. Ю.2016 год

Композитные оптически прозрачные токопроводящие покрытия на стеклянной подложке

  • Колесников В. А. и др.
  • 2016 год
Мелкозернистаянеоднородностькварцевого стекла Насыров Р. Ш.Бодунов Б. П.Артемьев Д. А.2018 год

Мелкозернистая неоднородность кварцевого стекла

  • Насыров Р. Ш. и др.
  • 2018 год
Анализ вариантовимпульсного лазерногопробития сквозныхотверстий встеклообразных икерамическихпластинах Коваленко А. Ф.2017 год

Анализ вариантов импульсного лазерного пробития сквозных отверстий в стеклообразных и…

  • Коваленко А. Ф.
  • 2017 год
Раскристаллизацияаморфной фазы впеностекле как способуменьшениящелочно-кремниевойреакции Казанцева Л. К.Пузанов И. С.2016 год

Раскристаллизация аморфной фазы в пеностекле как способ уменьшения щелочно-кремниевой реакции

  • Казанцева Л. К. и др.
  • 2016 год
Стеклообразованиестекол в системематериалов кварцевыйпесок - колеманит -сода Онищук В. И.Жерновая Н. Ф.Скурятина Е. Ю.2018 год

Стеклообразование стекол в системе материалов кварцевый песок - колеманит - сода

  • Онищук В. И. и др.
  • 2018 год