Библиографическое описание:Канаев, А. А. Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе полировки / А. А. Канаев, А. Е. Городецкий. - (Обработка материалов). - Текст : непосредственный // Стекло и керамика. - 2014. - № 5. - С. 29-32 : 2 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 32 (7 назв.). - ISSN 0131-9582.
Аннотация:Целью данной работы было исследование влияния поверхностно-активных присадок, вводимых в полировальные составы, на формирование кристаллической структуры поверхности кремниевых пластин и повышение производительности их обработки.
