Библиографическое описание:Использование волноводно-диэлектрического резонанса для измерения параметров структуры "нанометровая металлическая пленка-диэлектрик" / Д. А. Усанов [и др.]. - (Микроволновая техника). - Текст : непосредственный // Радиотехника. - 2016. - № 7. - С. 10-15. - Библиогр.: с. 15 (14 назв.). - ISSN 0033-8486.
Аннотация:Теоретически и экспериментально обоснован высокочувствительный СВЧ-метод измерения толщин нанометровых металлических слоев, нанесенных на диэлектрические пластины.
