Библиографическое описание:Гольдман, Е. И. "Реальные" изолирующие свойства сверхтонких окислов кремния / Е. И. Гольдман, Ю. В. Гуляев, Г. В. Чучева. - (Нанотехнологии: разработка, применение). - Текст : непосредственный // Радиотехника. - 2015. - № 8. - С. 58-65. - Библиогр.: с. 64-65 (20 назв.). - ISSN 0033-8486.
Аннотация:На основе ранее полученных авторами результатов в отношении структур n+-Si-SiO2-n-Si с толщиной окисла 37А проведен анализреальных изолирующих свойств сверхтонких окислов кремния.
