Библиографическое описание:Получение пленок Ti-Al-Si-B-N методом магнетронного распыления и исследование их механических свойств / А. А. Оноприенко [и др.]. - (Структурные исследования материалов). - Текст : непосредственный // Порошковая металлургия. - 2014. - № 5/6. - С. 126-134. - Библиогр.: с. 133-134 (20 назв. ). - Статья сопровождается аннотациями на русском, украинском и английском языках. - ISSN 0032-4795.
Аннотация:Пленки Ti-Al-Si-B-N осаждали методом магнетронного распыления композиционной Ti-Al-Si-B-N мишени в аргоновой плазме. Исследовано влияние параметров осаждения и последующего отжига в вакууме на структуру, твердость и механические свойства пленок.
