1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Огнеупоры и техническая керамика»
  5. Выпуск 2018 г. № 4/5
Влияние фотонногоотжига на структурупленок MgO,синтезированныхметодом дуальногомагнетронногонапыления Зайцев С. В.Прохоренков Д. С.Лимаренко М. В.2018 год

Влияние фотонного отжига на структуру пленок MgO, синтезированных методом дуального магнетронного напыления
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (В 586)
Библиографическое описание: Влияние фотонного отжига на структуру пленок MgO, синтезированных методом дуального магнетронного напыления / С. В. Зайцев [и др.]. - Текст : непосредственный // Огнеупоры и техническая керамика. - 2018. - № 4/5. - С. 18-23. - ISSN 0369-7290.
Аннотация: Исследованы микроструктурные и текстурные изменения пленок MgO, нанесенные на стеклянные и лейкосапфировые подложки методом дуального магнетронного напыления и последующего фотонного отжига. Пленки MgO на обоих типах подложек состоят из хорошо развитой столбчатой структуры, причем ориентация пленки при данных условиях осаждения не зависит от подложки. Установлено, что при повышении температуры отжига происходит изменения постоянной решетки и размер зерна. Выявлено, что интенсивность рефлексов существенно изменяется с увеличением температуры отжига, но плоскость (220) является преобладающей. Кроме того, повышение температуры отжига приводит к уплотнению микроструктуры покрытий и повышению ее однородности. Показано, что фотонный отжиг в вакууме при 900 °С с увеличением времени выдержки не влияет на структурные изменения в пленке.
Год издания: 2018
Авторы: Зайцев С. В. , Прохоренков Д. С. , Лимаренко М. В. , Ващилин В. С. , Колесник В. В. , Евтушенко Е. И. , Лебедев М. С.
Источник: Огнеупоры и техническая керамика
Выпуск: № 4/5
Номера страниц: 18-23
Количество экземпляров:
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Фотонный отжиг пленококсида цинка,синтезированных сиспользованиемвакуум-плазменныхтехнологий Зайцев С. В.Колесник В. В.Ващилин В. С.2017 год

Фотонный отжиг пленок оксида цинка, синтезированных с использованием вакуум-плазменных технологий

  • Зайцев С. В. и др.
  • 2017 год

Влияние разряда малого анода на свойства тонких титаносодержащих плёнок, полученных методом…

  • Зайцев О. В. и др.
  • 2025 год
Исследованиеморфологии иструктуры пленок TiN,синтезируемых методомдуальногомагнетронногораспыления Зайцев С. В.Колесник В. В.Ващилин В. С.2016 год

Исследование морфологии и структуры пленок TiN, синтезируемых методом дуального магнетронного…

  • Зайцев С. В. и др.
  • 2016 год
Влияние температурыотжига и толщиныпленки Ni/Ti,полученноймагнетроннымнапылением, на еемикроструктуру и… Патро С.Саксена К. К.Бехера А.2023 год

Влияние температуры отжига и толщины пленки Ni/Ti, полученной магнетронным напылением, на ее…

  • Патро С. и др.
  • 2023 год

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления

  • Пархоменко Ю. Н. и др.
  • 2017 год
Влияние отжига наструктуру и составнаноструктурированного In[2]S[3] Туленин С. С.Марков В. Ф.Маскаева Л. Н.2015 год

Влияние отжига на структуру и состав наноструктурированного In[2]S[3]

  • Туленин С. С. и др.
  • 2015 год
Исследование влияниядоли кислорода вплазме на фазовыйсостав TiO[x] -покрытий, осажденныхмагнетронным методом Нарцев В. М.Аткарская А. Б.Евтушенко Е. И.2015 год

Исследование влияния доли кислорода в плазме на фазовый состав TiO[x] - покрытий, осажденных…

  • Нарцев В. М. и др.
  • 2015 год
Свойства пленоксплаваCr-Co-Cu-Fe-Ni,полученныхмагнетроннымраспылением Шагинян Л. Р.Бритун В. Ф.Крапивка Н. А.2018 год

Свойства пленок сплава Cr-Co-Cu-Fe-Ni, полученных магнетронным распылением

  • Шагинян Л. Р. и др.
  • 2018 год

Показать ещё

Керамическиекомпозиционныематериалы на основеоксидных матриц Максимов В. Г.Варрик Н. М.2018 год

Керамические композиционные материалы на основе оксидных матриц

  • Максимов В. Г. и др.
  • 2018 год
Структура иориентационныеизменения в процессероста пленок твердогораствора Pd-5% (ат.)Pb Горбунов С. В.Донцов А. И.Синецкая Д. А.2019 год

Структура и ориентационные изменения в процессе роста пленок твердого раствора Pd-5% (ат.) Pb

  • Горбунов С. В. и др.
  • 2019 год
Исследованиемагнитных параметровпленок Co/Cu помагнитным имагниторезистивнымпетлям гистерезиса Корнилов А. В.Ващилин В. С.Евтушенко Е. И.2015 год

Исследование магнитных параметров пленок Co/Cu по магнитным и магниторезистивным петлям гистерезиса

  • Корнилов А. В. и др.
  • 2015 год
Влияние температурына деформациюалюмофосфатнойсистемы Шаяхметов У. Ш.Третьякова В. С.Халиков Р. М.2017 год

Влияние температуры на деформацию алюмофосфатной системы

  • Шаяхметов У. Ш. и др.
  • 2017 год
Влияние добавококсида меди намикроструктуру ифазовый составчастичностабилизированногооксидом иттриядиоксида… Порозова С. Е.Шоков В. О.Вохмянин Д. С.2018 год

Влияние добавок оксида меди на микроструктуру и фазовый состав частично стабилизированного…

  • Порозова С. Е. и др.
  • 2018 год
Получение пленокTi-Al-Si-B-N методоммагнетронногораспыления иисследование ихмеханических свойств Оноприенко А. А.Иващенко В. И.Подчерняева И. А.2014 год

Получение пленок Ti-Al-Si-B-N методом магнетронного распыления и исследование их механических…

  • Оноприенко А. А. и др.
  • 2014 год
Закономерностижидкофазного синтезамуллита Сокольский В. Э.Прутцков Д. В.Бусько В. М.2017 год

Закономерности жидкофазного синтеза муллита

  • Сокольский В. Э. и др.
  • 2017 год
Влияние режимовпредварительногосвободного спеканияAl[2]O[3]-(3Y)ZrO[2]керамики на структуруи свойства заготовок… Кузьмин Р. И.Веселов С. В.Черкасова Н. Ю.2018 год

Влияние режимов предварительного свободного спекания Al[2]O[3]-(3Y)ZrO[2] керамики на структуру и…

  • Кузьмин Р. И. и др.
  • 2018 год