Исследование влияниядоли кислорода вплазме на фазовыйсостав TiO[x] -покрытий, осажденныхмагнетронным методом Нарцев В. М.Аткарская А. Б.Евтушенко Е. И.2015 год

Исследование влияния доли кислорода в плазме на фазовый состав TiO[x] - покрытий, осажденных магнетронным методом
статья из журнала

Похожие публикации

Показать ещё