Библиографическое описание:Горбунов, С. В. Структура и ориентационные изменения в процессе роста пленок твердого раствора Pd-5% (ат.) Pb / С. В. Горбунов, А. И. Донцов, Д. А. Синецкая. - (Структура и свойства материалов). - Текст : непосредственный // Материаловедение. - 2019. - № 5. - С. 10-14. - ISSN 1684-579X.
Аннотация:Исследованы морфологические, структурные и ориентационные превращения и изменения элементного состава при росте пленок твердого раствора Pd-Pb в процессе магнетронного распыления мишени состава Pd-5% (ат. ) Pb в среде Ar (10-1 Па), исходный вакуум - 10-3 Па, скорость роста - 4 нм / с, мощность магнетрона в процессе роста тонких пленок 630-650 Вт, толстых 750-790 Вт. Установлено, что зарождение и рост пленок твердого раствора Pd-Pb происходят по Фольмеру-Веберу и сопровождаются собирательной рекристаллизацией. При средней толщине около 10 нм достигается стадия лабиринтной морфологии. Для данной стадии характерны нанокристаллическая структура и одноосная текстура 111. Наличие второй компоненты (Pb) подавляет множественное двойникование, характерное для островковых пленок Pd. Для элементного состава в объеме пленки характерно снижение концентрации Pb.
