1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Материаловедение»
  5. Выпуск 2015 г. № 2
Ориентированнаякристаллизациятолстых пленок Pd—Ruв процессемагнетронногораспыления мишени Иевлев В. М.Максименко А. А.Белоногов Е. К.2015 год

Ориентированная кристаллизация толстых пленок Pd—Ru в процессе магнетронного распыления мишени
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (О-658)
Библиографическое описание: Ориентированная кристаллизация толстых пленок Pd—Ru в процессе магнетронного распыления мишени / В. М. Иевлев [и др.]. - (Современные технологии). - Текст : непосредственный // Материаловедение. - 2015. - № 2. - С. 37-40. - ISSN 1684-579Х.
Аннотация: Показана возможность получения толстых (3-7 мкм) пленок твердого раствора Pd - 6% (мас. ) Ru в процессе магнетронного распыления мишени соответствующего состава. Исследованы структура, фазовый состав и морфология поверхности пленок сконденсированных на поверхности окисленного кремния, фторфлогопита и анодного оксида алюминия при 300-950 K. Общая закономерность - образование градиентной зеренной структуры толстых пленок, характеризующейся высокой дисперсностью зерен на начальной стадии роста, последующим селективным ростом зерен и субзерен анизотропной формы и преимущественной ориентации , не зависит от структуры и морфологии поверхности подложки.
Год издания: 2015
Авторы: Иевлев В. М. , Максименко А. А. , Белоногов Е. К. , Канныкин С. В. , Сладкопевцев Б. В. , Бурханов Г. С. , Рошан Н. Р. , Чистов Е. М.
Источник: Материаловедение
Выпуск: № 2
Номера страниц: 37-40
Количество экземпляров:
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Свойства тонкихпленок сульфидоввольфрама и меди,полученных методоммагнетронногораспыления Ан В. В.Погребенков В. М.Захаров А. Н.2016 год

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления

  • Ан В. В. и др.
  • 2016 год
Фазово-структурноесостояние магнитныхпленок FeZrN,полученныхмагнетроннымраспылением нагретоймишени Шефтель Е. Н.Кирюханцев-Корнеев Ф. В.Теджетов В. А.2014 год

Фазово-структурное состояние магнитных пленок FeZrN, полученных магнетронным распылением нагретой…

  • Шефтель Е. Н. и др.
  • 2014 год
ИзносостойкиепокрытияTi-AI-Si-C-N,полученные методоммагнетронногораспыленияСВС-мишеней Кирюханцев-Корнеев Ф. В.Купцов К. А.Шевейко А. Н.2011 год

Износостойкие покрытия Ti-AI-Si-C-N, полученные методом магнетронного распыления СВС-мишеней

  • Кирюханцев-Корнеев Ф. В. и др.
  • 2011 год
Структура иориентационныеизменения в процессероста пленок твердогораствора Pd-5% (ат.)Pb Горбунов С. В.Донцов А. И.Синецкая Д. А.2019 год

Структура и ориентационные изменения в процессе роста пленок твердого раствора Pd-5% (ат.) Pb

  • Горбунов С. В. и др.
  • 2019 год
Исследованиеморфологии иструктуры пленок TiN,синтезируемых методомдуальногомагнетронногораспыления Зайцев С. В.Колесник В. В.Ващилин В. С.2016 год

Исследование морфологии и структуры пленок TiN, синтезируемых методом дуального магнетронного…

  • Зайцев С. В. и др.
  • 2016 год
Свойства пленоксплаваCr-Co-Cu-Fe-Ni,полученныхмагнетроннымраспылением Шагинян Л. Р.Бритун В. Ф.Крапивка Н. А.2018 год

Свойства пленок сплава Cr-Co-Cu-Fe-Ni, полученных магнетронным распылением

  • Шагинян Л. Р. и др.
  • 2018 год
Получение пленокTi-Al-Si-B-N методоммагнетронногораспыления иисследование ихмеханических свойств Оноприенко А. А.Иващенко В. И.Подчерняева И. А.2014 год

Получение пленок Ti-Al-Si-B-N методом магнетронного распыления и исследование их механических…

  • Оноприенко А. А. и др.
  • 2014 год
Использование способаионно-атомногоосаждения длясоздания одномерныхкомпозитов Насакина Е. О.Севостьянов М. А.Демин К. Ю.2015 год

Использование способа ионно-атомного осаждения для создания одномерных композитов

  • Насакина Е. О. и др.
  • 2015 год

Показать ещё

Исследование процессаполучения структуры исвойств магнетронныхнанослойныхFeAl-покрытий Борисов Ю. С.Кузнецов М. В.Ткаченко Б. Т.2017 год

Исследование процесса получения структуры и свойств магнетронных нанослойных FeAl-покрытий

  • Борисов Ю. С. и др.
  • 2017 год
Оптический контрольсостава газовой смесив процессереактивногомагнетронногораспыления Кострин Д. К.2015 год

Оптический контроль состава газовой смеси в процессе реактивного магнетронного распыления

  • Кострин Д. К.
  • 2015 год
Применение дуговогоразряда для нанесенияметаллическихнаноразмерных пленок Тупик В. А.Потапов А. А.Марголин В. И.2021 год

Применение дугового разряда для нанесения металлических наноразмерных пленок

  • Тупик В. А. и др.
  • 2021 год
Магнитные свойстватонких пленокFeXNi100 - X (X = 20,17, 15%): фокус навысокочастотныесенсорные приложения Членова А. А.Голубева Е. В.Новоселова Ю. П.2019 год

Магнитные свойства тонких пленок FeXNi100 - X (X = 20, 17, 15%)

  • Членова А. А. и др.
  • 2019 год