Библиографическое описание:Ориентированная кристаллизация толстых пленок Pd—Ru в процессе магнетронного распыления мишени / В. М. Иевлев [и др.]. - (Современные технологии). - Текст : непосредственный // Материаловедение. - 2015. - № 2. - С. 37-40. - ISSN 1684-579Х.
Аннотация:Показана возможность получения толстых (3-7 мкм) пленок твердого раствора Pd - 6% (мас. ) Ru в процессе магнетронного распыления мишени соответствующего состава. Исследованы структура, фазовый состав и морфология поверхности пленок сконденсированных на поверхности окисленного кремния, фторфлогопита и анодного оксида алюминия при 300-950 K. Общая закономерность - образование градиентной зеренной структуры толстых пленок, характеризующейся высокой дисперсностью зерен на начальной стадии роста, последующим селективным ростом зерен и субзерен анизотропной формы и преимущественной ориентации , не зависит от структуры и морфологии поверхности подложки.
