Библиографическое описание:Ежовский, Ю. К. Атомно-слоевое осаждение поверхностных наноструктур халькогенидов кадмия и цинка / Ю. К. Ежовский. - (Наноструктуры и нанотехнологии). - Текст : непосредственный // Материаловедение. - 2014. - № 9. - С. 24-30. - ISSN 1684-579Х.
Аннотация:Представлены обобщенные результаты по синтезу ультратонких слоев халькогенидов цинка и кадмия методом атомно-слоевого осаждения на поверхности кремния и соединений АIIIBV различной ориентации. Установлены основные закономерности хемосорбции компонентов и условия слоевого механизма формирования наноструктур указанных соединений.
