Библиографическое описание:Фазово-структурное состояние магнитных пленок FeZrN, полученных магнетронным распылением нагретой мишени / Е. Н. Шефтель [и др.]. - (Функциональные материалы). - Текст : непосредственный // Материаловедение. - 2014. - № 10. - С. 8-15. - ISSN 1684-579Х.
Аннотация:Методом рентгеновской дифракции исследовано фазово-структурное состояние пленок на основе Fe, легированных Zr и N, полученных методом магнетронного напыления с нагревом мишени. В пленках формируется нанокристаллическая структура с размером зерна менее 10 нм. В зависимости от содержания Zr, N и примесного O в пленках образуется различное сочетание ферромагнитных (ОЦК твердый раствор Zr и N в ? -Fe и Fe4N) и немагнитных (ZrN и ГЦК ZrO2) фаз. Высокое содержание Zr приводит к аморфизации пленок. Фазово-структурное состояние в исследованных пленках определяется конкуренцией термодинамических, кинетических и структурных факторов.
