Библиографическое описание:Ларионов, Ю. В. Калибровка рельефных мер нанометрового диапазона с помощью просвечивающего электронного микроскопа / Ю. В. Ларионов. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Метрология. - 2017. - № 4. - С. 15-24. - Библиогр.: с. 23-24 (16 назв.). - ISSN 0132-4713.
Аннотация:Рассмотрен метод калибровки мер ширины, выявлены причины неопределенности при измерении ширины как единственного контролируемого параметра.
