1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Метрология»
  5. Выпуск 2017 г. № 4
Калибровка рельефныхмер нанометровогодиапазона с помощьюпросвечивающегоэлектронногомикроскопа Ларионов Ю. В.2017 год

Калибровка рельефных мер нанометрового диапазона с помощью просвечивающего электронного микроскопа
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Л 252)
Библиографическое описание: Ларионов, Ю. В. Калибровка рельефных мер нанометрового диапазона с помощью просвечивающего электронного микроскопа / Ю. В. Ларионов. - (Нанометрология). - Текст : непосредственный // Метрология. - 2017. - № 4. - С. 15-24. - Библиогр.: с. 23-24 (16 назв.). - ISSN 0132-4713.
Аннотация: Рассмотрен метод калибровки мер ширины, выявлены причины неопределенности при измерении ширины как единственного контролируемого параметра.
Год издания: 2017
Авторы: Ларионов Ю. В.
Источник: Метрология
Выпуск: № 4
Номера страниц: 15-24
Количество экземпляров:
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Стандартный образецдля калибровкипросвечивающихэлектронныхмикроскопов Бодунов Д. С.Гавриленко В. П.Заблоцкий А. В.2012 год

Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов

  • Бодунов Д. С. и др.
  • 2012 год
Повышениедостоверностиоцениваниярасширеннойнеопределенности прикалибровке средствизмерений Боцюра О. А.Захаров И. П.2020 год

Повышение достоверности оценивания расширенной неопределенности при калибровке средств измерений

  • Боцюра О. А. и др.
  • 2020 год
Искажение профилярельефных элементовна поверхностимонокристаллическогокремния в результатеих контаминации в… Гавриленко В. П.Кузин А. Ю.Митюхляев В. Б.2013 год

Искажение профиля рельефных элементов на поверхности монокристаллического кремния в результате их…

  • Гавриленко В. П. и др.
  • 2013 год
Исследованиеметрологическиххарактеристикавтогенераторныхпреобразователейперемещений длясистем путевогоуправления Либерман Я. Л.Горбунова Л. Н.2020 год

Исследование метрологических характеристик автогенераторных преобразователей перемещений для…

  • Либерман Я. Л. и др.
  • 2020 год
Метод бесконтактныхизмеренийэлектромагнитныхпараметров тонкихпленок инаноматериалов Скворцов Б. В.Борминский С. А.Солнцева А. В.2016 год

Метод бесконтактных измерений электромагнитных параметров тонких пленок и наноматериалов

  • Скворцов Б. В. и др.
  • 2016 год
Влияние законараспределенияпоказаний средствизмерений на точностьоценокнеопределенностиизмерений Боцюра О. А.Захаров И. П.2016 год

Влияние закона распределения показаний средств измерений на точность оценок неопределенности…

  • Боцюра О. А. и др.
  • 2016 год
Оптико-электронныйпылемер Семенов В. В.Асцатуров Ю. Г.Ханжонков Ю. Б.2019 год

Оптико-электронный пылемер

  • Семенов В. В. и др.
  • 2019 год
Метод расчетанеопределенностиоценок детализирующихкоэффициентоввейвлет-преобразования профиля яркостиизображения Глухова Н. В.2020 год

Метод расчета неопределенности оценок детализирующих коэффициентов вейвлет-преобразования профиля…

  • Глухова Н. В.
  • 2020 год

Показать ещё

Способ оценкистабильностимасштабногокоэффициентапросвечивающегоэлектронногомикроскопа Заблоцкий А. В.Авилов А. С.Бодунов Д. С.2013 год

Способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа

  • Заблоцкий А. В. и др.
  • 2013 год
Косвенное измерениепараметров ростакоррозионногопиттинга на основекулонометрическогометода Рыжаков В. В.Рыжаков М. В.Рудюк М. Ю.2013 год

Косвенное измерение параметров роста коррозионного питтинга на основе кулонометрического метода

  • Рыжаков В. В. и др.
  • 2013 год
Имитационноемоделированиекалибровкиимпульсногорефлектометрическогоуровнемера с помощьюреперных меток Корячко В. П.Румянцев С. С.Аронов Л. В.2023 год

Имитационное моделирование калибровки импульсного рефлектометрического уровнемера с помощью…

  • Корячко В. П. и др.
  • 2023 год

Определение увеличения микроскопа. Определение линейных размеров малых объектов с помощью микроскопа

  • Колубаева Л. А. и др.
  • 2017 год
Умножитель диапазона0,2 ТГц с ленточнымэлектронным пучком Белов К. В.Каретникова Т. А.Плоских А. Э.2017 год

Умножитель диапазона 0,2 ТГц с ленточным электронным пучком

  • Белов К. В. и др.
  • 2017 год
Автоэмиссионнаяэлектронно-оптическаясистема для ЛБВтерагерцевогодиапазона с ленточнымэлектронным пучком Давидович М. В.Бушуев Н. А.Яфаров Р. К.2017 год

Автоэмиссионная электронно-оптическая система для ЛБВ терагерцевого диапазона с ленточным…

  • Давидович М. В. и др.
  • 2017 год
Разработкастандартных образцови методов калибровкималоугловыхрентгеновскихдифрактомеров длясертификации и… Авилов А. С.Батурин А. С.Волков В. В.2013 год

Разработка стандартных образцов и методов калибровки малоугловых рентгеновских дифрактомеров для…

  • Авилов А. С. и др.
  • 2013 год
Сравнение алгоритмоввыявления сетевыханомалии с помощьюмеры Ван Ризбергена Микова С. Ю.Оладько В. С.2016 год

Сравнение алгоритмов выявления сетевых аномалии с помощью меры Ван Ризбергена

  • Микова С. Ю. и др.
  • 2016 год