Библиографическое описание:Подсистема управления технологическим процессом производства интегральных схем / И. Я. Львович [и др.]. - (Общие вопросы метрологии и измерительной техники). - Текст : непосредственный // Метрология. - 2017. - № 2. - С. 3-9. - Библиогр.: с. 9 (10 назв.). - ISSN 0132-4713.
Аннотация:Разработана подсистема управления производством пробных партий интегральных схем для организации серийного производства, обеспечивающая сбор данных и анализ дефектов производства.