Библиографическое описание:Зусман, Г. В. Современные микромеханические преобразователи и их применение в вибродиагностике и некоторых других областях / Г. В. Зусман. - Текст : непосредственный // Контроль. Диагностика. - 2017. - № 4. - С. 44-57. - Библиогр.: с. 56-57 (10 назв. ). - ISSN 0201-7032.
Аннотация:Достижения микроэлектромеханики показывают, что она в последнее время превратилась в мощную промышленную индустрию, охватывающую в разной степени большинство областей современной электронной техники. Представлен обзор современного состояния микромеханических преобразователей или систем (МЕМS) и их применения в вибродиагностике и некоторых других областях.
