1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Контроль. Диагностика»
  5. Выпуск 2015 г. № 6
Исследованиеспектрального методаконтроля толщиныполупроводниковых идиэлектрическихпленок Кострин Д. К.2015 год

Исследование спектрального метода контроля толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (К 725)
Библиографическое описание: Кострин, Д. К. Исследование спектрального метода контроля толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок / Д. К. Кострин. - Текст : непосредственный // Контроль. Диагностика. - 2015. - № 6. - С. 30-34. - Библиогр.: с. 33-34 (5 назв. ). - ISSN 0201-7032.
Аннотация: Рассмотрены основы метода спектральной интерферометрии, позволяющего проводить контроль толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок. Показана необходимость математической обработки спектральных данных для получения достоверных результатов.
Год издания: 2015
Авторы: Кострин Д. К.
Источник: Контроль. Диагностика
Выпуск: № 6
Номера страниц: 30-34
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Сравнениеэффективностиспектрального методаи метода частичныхобластей при расчетекруговых открытых… Малышев Г. С.Раевский С. Б.Седаков А. Ю.2017 год

Сравнение эффективности спектрального метода и метода частичных областей при расчете круговых…

  • Малышев Г. С. и др.
  • 2017 год
Три метода расчетаоткрытыхдиэлектрическихволноводов Малышев Г. С.Раевская Ю. В.Титаренко А. А.2018 год

Три метода расчета открытых диэлектрических волноводов

  • Малышев Г. С. и др.
  • 2018 год
Система спектральногоконтроля нанесениямногослойныхдиэлектрическихпокрытий Лабусов В. А.Семенов З. В.Зарубин И. А.2013 год

Система спектрального контроля нанесения многослойных диэлектрических покрытий

  • Лабусов В. А. и др.
  • 2013 год
Микроволновыйизмеритель толщины идиэлектрическойпроницаемостипокрытий сцилиндрическимобъемным резонатором… Волков В. В.Суслин М. А.2017 год

Микроволновый измеритель толщины и диэлектрической проницаемости покрытий с цилиндрическим…

  • Волков В. В. и др.
  • 2017 год

Защитные диэлектрические пленки и методы их получения

  • Патрушева Т. Н. и др.
  • 2016 год
Оптический контрольсостава газовой смесив процессереактивногомагнетронногораспыления Кострин Д. К.2015 год

Оптический контроль состава газовой смеси в процессе реактивного магнетронного распыления

  • Кострин Д. К.
  • 2015 год
Синтез тонких пленокна основе ZnO,допированных Ga, In,и определение ихсостава методамирентгеновской… Филатова Д. Г.Воробьева Н. А.Румянцева М. Н.2016 год

Синтез тонких пленок на основе ZnO, допированных Ga, In, и определение их состава методами…

  • Филатова Д. Г. и др.
  • 2016 год
Диагностика защитныхсвойств оксидныхпленок на внутреннихповерхностяхпаропроводных труб наоснове… Липкина Т. В.Липкин С. М.Козлова Т. В.2015 год

Диагностика защитных свойств оксидных пленок на внутренних поверхностях паропроводных труб на…

  • Липкина Т. В. и др.
  • 2015 год

Показать ещё

Методы измеренийспектральныххарактеристик ираспознаванияэлементов зерновыхсмесей в системахсепарации реального… Алгазинов Э. К.Дрюченко М. А.Минаков Д. А.2014 год

Методы измерений спектральных характеристик и распознавания элементов зерновых смесей в системах…

  • Алгазинов Э. К. и др.
  • 2014 год
Методырадиолокационногоизмерения толщиндиэлектрических слоев Андриянов АлександрВладимирович2014 год

Методы радиолокационного измерения толщин диэлектрических слоев

  • Андриянов Александр Владимирович
  • 2014 год

Микро- и нанотехнологии

  • Патрушева Тамара Николаевна
  • 2013 год
Электрохимическоеполучение тонкихпленок Si в расплавахKF – KCl – KI –K[2]SiF[6] Исаков А. В.Чанг К.Джанг С.2017 год

Электрохимическое получение тонких пленок Si в расплавах KF – KCl – KI – K[2]SiF[6]

  • Исаков А. В. и др.
  • 2017 год
Зондовый методконтроля удельногосопротивления тонкихпленок интегральныхмикросхем прирасположении зондовв… Арешкин А. А.2015 год

Зондовый метод контроля удельного сопротивления тонких пленок интегральных микросхем при…

  • Арешкин А. А.
  • 2015 год
Алгоритм расчетатолщины тонкихметаллических пленок Концевой Ю. А.Кондаков М. Н.Петрова И. Г.2016 год

Алгоритм расчета толщины тонких металлических пленок

  • Концевой Ю. А. и др.
  • 2016 год
Свойства тонкихпленок сульфидоввольфрама и меди,полученных методоммагнетронногораспыления Ан В. В.Погребенков В. М.Захаров А. Н.2016 год

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления

  • Ан В. В. и др.
  • 2016 год
Метод контролясостава тонких пленокна основе смесиполигидроксибутиратаи полиамида Ольхов А. А.Маркин В. С.Косенко Р. Ю.2016 год

Метод контроля состава тонких пленок на основе смеси полигидроксибутирата и полиамида

  • Ольхов А. А. и др.
  • 2016 год