Библиографическое описание:Кострин, Д. К. Исследование спектрального метода контроля толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок / Д. К. Кострин. - Текст : непосредственный // Контроль. Диагностика. - 2015. - № 6. - С. 30-34. - Библиогр.: с. 33-34 (5 назв. ). - ISSN 0201-7032.
Аннотация:Рассмотрены основы метода спектральной интерферометрии, позволяющего проводить контроль толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок. Показана необходимость математической обработки спектральных данных для получения достоверных результатов.
