Библиографическое описание:Кострин, Д. К. Оптический контроль состава газовой смеси в процессе реактивного магнетронного распыления / Д. К. Кострин. - Текст : непосредственный // Контроль. Диагностика. - 2015. - № 5. - С. 47-50. - Библиогр.: с. 50 (12 назв. ). - ISSN 0201-7032.
Аннотация:Проанализированы особенности процесса получения тонких пленок с помощью реактивного магнетронного распыления. Показано, что одной из важнейших технологических задач для данного процесса является контроль состава газовой смеси. Рассмотрено спектральное оборудование, позволяющее проводить диагностирование процесса по спектрам излучения плазмы.
