1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Контроль. Диагностика»
  5. Выпуск 2015 г. № 5
Оптический контрольсостава газовой смесив процессереактивногомагнетронногораспыления Кострин Д. К.2015 год

Оптический контроль состава газовой смеси в процессе реактивного магнетронного распыления
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (К 725)
Библиографическое описание: Кострин, Д. К. Оптический контроль состава газовой смеси в процессе реактивного магнетронного распыления / Д. К. Кострин. - Текст : непосредственный // Контроль. Диагностика. - 2015. - № 5. - С. 47-50. - Библиогр.: с. 50 (12 назв. ). - ISSN 0201-7032.
Аннотация: Проанализированы особенности процесса получения тонких пленок с помощью реактивного магнетронного распыления. Показано, что одной из важнейших технологических задач для данного процесса является контроль состава газовой смеси. Рассмотрено спектральное оборудование, позволяющее проводить диагностирование процесса по спектрам излучения плазмы.
Год издания: 2015
Авторы: Кострин Д. К.
Источник: Контроль. Диагностика
Выпуск: № 5
Номера страниц: 47-50
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Метод контролясостава тонких пленокна основе смесиполигидроксибутиратаи полиамида Ольхов А. А.Маркин В. С.Косенко Р. Ю.2016 год

Метод контроля состава тонких пленок на основе смеси полигидроксибутирата и полиамида

  • Ольхов А. А. и др.
  • 2016 год
Ориентированнаякристаллизациятолстых пленок Pd—Ruв процессемагнетронногораспыления мишени Иевлев В. М.Максименко А. А.Белоногов Е. К.2015 год

Ориентированная кристаллизация толстых пленок Pd—Ru в процессе магнетронного распыления мишени

  • Иевлев В. М. и др.
  • 2015 год
Зажигание горючейгазовой смеси сучетом выгораниявещества Горшков Владимир ИвановичШебеко Алексей Юрьевич2016 год

Зажигание горючей газовой смеси с учетом выгорания вещества

  • Горшков Владимир Иванович и др.
  • 2016 год
Зажигание горючейгазовой смеситермически толстойпластиной Горшков Владимир ИвановичШебеко Алексей Юрьевич2016 год

Зажигание горючей газовой смеси термически толстой пластиной

  • Горшков Владимир Иванович и др.
  • 2016 год

Методы синтеза наноструктурных материалов и тонких пленок

  • Карпов Игорь Васильевич и др.
  • 2024 год
Синтез тонких пленокна основе ZnO,допированных Ga, In,и определение ихсостава методамирентгеновской… Филатова Д. Г.Воробьева Н. А.Румянцева М. Н.2016 год

Синтез тонких пленок на основе ZnO, допированных Ga, In, и определение их состава методами…

  • Филатова Д. Г. и др.
  • 2016 год
Исследованиеспектрального методаконтроля толщиныполупроводниковых идиэлектрическихпленок Кострин Д. К.2015 год

Исследование спектрального метода контроля толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок

  • Кострин Д. К.
  • 2015 год
Численноеисследование динамикипроцессаадсорбционногоразделения газовойсмеси иконцентрированияводорода Акулинин Е. И.Ишин А. А.Скворцов С. А.2018 год

Численное исследование динамики процесса адсорбционного разделения газовой смеси и…

  • Акулинин Е. И. и др.
  • 2018 год

Показать ещё

Влияние составагазовой смеси наизносостойкость икоррозионные свойстваоксинитридных пленокна аустенитной… Чакыр М. А.2023 год

Влияние состава газовой смеси на износостойкость и коррозионные свойства оксинитридных пленок на…

  • Чакыр М. А.
  • 2023 год
Ионно-плазменныепроцессы втонкопленочнойтехнологии Берлин Евгений ВладимировичСейдман Лев Александрович2010 год

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

  • Берлин Евгений Владимирович и др.
  • 2010 год
Математический методоптимизации процессапроектированиясоставов бетоннойсмеси путемоперативной коррекциифракций… Харьков Д. А.Киселева А. Д.2022 год

Математический метод оптимизации процесса проектирования составов бетонной смеси путем…

  • Харьков Д. А. и др.
  • 2022 год
Особенности процессаферментациимолочно-соевой смеси Литвиненко Оксана ВикторовнаКорнева Надежда Юрьевна2023 год

Особенности процесса ферментации молочно-соевой смеси

  • Литвиненко Оксана Викторовна и др.
  • 2023 год
Исследование процессаполучения структуры исвойств магнетронныхнанослойныхFeAl-покрытий Борисов Ю. С.Кузнецов М. В.Ткаченко Б. Т.2017 год

Исследование процесса получения структуры и свойств магнетронных нанослойных FeAl-покрытий

  • Борисов Ю. С. и др.
  • 2017 год
Интенсификацияпроцессовпроизводства бензиновразличных марок наоснове учетамежмолекулярныхвзаимодействий… Иванчина Э. Д.Ивашкин Е. Н.Храпов Д. В.2017 год

Интенсификация процессов производства бензинов различных марок на основе учета межмолекулярных…

  • Иванчина Э. Д. и др.
  • 2017 год
Отработка элементатехнологиикратковременногохранения ананасов сиспользованиемгазовой смесиAligal-13 Карпова Наталья АлександровнаМасловский СергейАлександровичСоколова Любовь Михайловна2023 год

Отработка элемента технологии кратковременного хранения ананасов с использованием газовой смеси…

  • Карпова Наталья Александровна и др.
  • 2023 год
Формированиеполикристаллическихпленок ZnOионно-плазменнымметодом дляМДП-фотоэлектрическихприборов УФ-диапазона Григорьев Леонид ВладимировичБочкарева Елизавета СергеевнаНефедов Вячеслав Григорьевич2015 год

Формирование поликристаллических пленок ZnO ионно-плазменным методом для МДП-фотоэлектрических…

  • Григорьев Леонид Владимирович и др.
  • 2015 год