Библиографическое описание:Янсаитова, Миляуша Исмагиловна. Метрологическое обеспечение элементов технологического процесса покрытий, получаемых осаждением из вакуумно-дугового разряда = Metrological Support Elements Technogical Process Coating of the Deposition From the Plasma of the Vacuum-Arc Discharge / М. И. Янсаитова. - (Приборы, методы, технологии). - Текст : непосредственный // Качество. Инновации. Образование. - 2017. - № 5. - С. 27-30 : табл. - Библиогр.: с. 29 (5 назв.).
Аннотация:В работе рассмотрены элементы технологического процесса покрытий, получаемых осаждением из вакуумно-дугового разряда, а также описано предназначение средств измерений, стандартных образцов и вспомогательного оборудования.
