Факторный анализ зависимости микротвердости и толщины покрытия TiN от расположения деталей в вакуумной камере при осаждении из плазмы вакуумно-дугового разряда
Библиографическое описание:Факторный анализ зависимости микротвердости и толщины покрытия TiN от расположения деталей в вакуумной камере при осаждении из плазмы вакуумно-дугового разряда = Factor Analysis of the Influence of TiN Coating Microhardness and Thickness on the Parts Position in a Vacuum Chamber During Deposition From the Plasma of the Vacuum-Arc Discharge / М. И. Янсаитова [и др.]. - (Приборы, методы и технологии). - Текст : непосредственный // Качество. Инновации. Образование. - 2017. - № 3. - С. 38-44 : 3 рис., 2 табл. - Библиогр.: с. 42 (7 назв.).
Аннотация:В статье исследованы зависимости микротвердости и толщины покрытия TiN от расположения деталей в вакуумной камере при осаждении из плазмы вакуумно-дугового разряда.
