Библиографическое описание:Влияние разряда малого анода на свойства тонких титаносодержащих плёнок, полученных методом магнетронного распыления с последующим отжигом / О. В. Зайцев, Т. И. Гареев, О. А. Нерушев, П. В. Коваленко. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. - 2025. - Т. 18, № 7. - С. 916-930. - Библиогр.: с. 930. - ISSN 1999-494X.
Аннотация:Эта статья предлагает модифицированный метод магнетронного распыления с использованием дополнительного разряда вблизи подложки, создаваемого малым анодом. Это дает возможность управлять концентрацией потока заряженных частиц, поступающих на подложку, что позволяет контролировать свойства получаемых покрытий. Полученные данным методом плёнки титана были отожжены на воздухе и в азоте при различных температурах. Полученные титаносодержащие плёнки демонстрировали свойства, зависящие от свойств исходной плёнки. Было выявлено, как плотность исходных плёнок влияет на кинетику трансформации во время отжига.
