1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
  5. Выпуск 2025 г. Том 18. № 7

Влияние разряда малого анода на свойства тонких титаносодержащих плёнок, полученных методом магнетронного распыления с последующим отжигом
статья из журнала

Полный текстЗаказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Влияние разряда малого анода на свойства тонких титаносодержащих плёнок, полученных методом магнетронного распыления с последующим отжигом / О. В. Зайцев, Т. И. Гареев, О. А. Нерушев, П. В. Коваленко. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. - 2025. - Т. 18, № 7. - С. 916-930. - Библиогр.: с. 930. - ISSN 1999-494X.
Аннотация: Эта статья предлагает модифицированный метод магнетронного распыления с использованием дополнительного разряда вблизи подложки, создаваемого малым анодом. Это дает возможность управлять концентрацией потока заряженных частиц, поступающих на подложку, что позволяет контролировать свойства получаемых покрытий. Полученные данным методом плёнки титана были отожжены на воздухе и в азоте при различных температурах. Полученные титаносодержащие плёнки демонстрировали свойства, зависящие от свойств исходной плёнки. Было выявлено, как плотность исходных плёнок влияет на кинетику трансформации во время отжига.
Год издания: 2025
Авторы: Зайцев О. В. , Гареев Т. И. , Нерушев О. А. , Коваленко П. В.
Источник: Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
Выпуск: Т. 18, № 7
Номера страниц: 916-930
Количество экземпляров:

Всего свободно 3 из 3 экземпляров.

  • Читальный зал Б307 (пр. Свободный, 79, к. Б3-07): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Информационно-библиографический отдел (ул. Л. Прушинской, 2, к. 3-06): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Свойства пленоксплаваCr-Co-Cu-Fe-Ni,полученныхмагнетроннымраспылением Шагинян Л. Р.Бритун В. Ф.Крапивка Н. А.2018 год

Свойства пленок сплава Cr-Co-Cu-Fe-Ni, полученных магнетронным распылением

  • Шагинян Л. Р. и др.
  • 2018 год
Влияние фотонногоотжига на структурупленок MgO,синтезированныхметодом дуальногомагнетронногонапыления Зайцев С. В.Прохоренков Д. С.Лимаренко М. В.2018 год

Влияние фотонного отжига на структуру пленок MgO, синтезированных методом дуального магнетронного…

  • Зайцев С. В. и др.
  • 2018 год
Свойства тонкихпленок сульфидоввольфрама и меди,полученных методоммагнетронногораспыления Ан В. В.Погребенков В. М.Захаров А. Н.2016 год

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления

  • Ан В. В. и др.
  • 2016 год

Получение осадков и пленок диоксида циркония из уротропиновой системы

  • Туленин С. С. и др.
  • 2026 год

Алюминотермическое получение титанового порошка

  • Киреев А. Е. и др.
  • 2024 год
Получение пленокTi-Al-Si-B-N методоммагнетронногораспыления иисследование ихмеханических свойств Оноприенко А. А.Иващенко В. И.Подчерняева И. А.2014 год

Получение пленок Ti-Al-Si-B-N методом магнетронного распыления и исследование их механических…

  • Оноприенко А. А. и др.
  • 2014 год

Алюминотермическое получение титанового порошка

  • Киреев А. Е. и др.
  • 2024 год

Методы синтеза наноструктурных материалов и тонких пленок

  • Карпов Игорь Васильевич и др.
  • 2024 год

Показать ещё

Investigation of the Structural, Optical, and Electrical Properties of Ni-Doped SnO[2]- Thin…

  • Aoun Ya. и др.
  • 2026 год

Моделирование процесса прессования порошкового алюминия с карбонатом кальция

  • Лапин И. В. и др.
  • 2026 год

Нанодисперсное модифицирование стали 110Г13Л

  • Полубояров В. А. и др.
  • 2016 год

Investigation of Microstructure, Phases and Micro-Hardness of Molybdenum Coatings Deposited by…

  • Djendel M. и др.
  • 2020 год

Исследование влияния элемента-компенсатора на структуру и свойства сплава АК12

  • Богданова Т. А. и др.
  • 2016 год

Исследование влияния модифицирующей добавки на свойства противопригарных покрытий для чугунного и…

  • Лесив Е. М. и др.
  • 2016 год

Интенсификация процесса вскрытия упорных промпродуктов аффинажного производства

  • Павлов Е. А. и др.
  • 2016 год
Ориентированнаякристаллизациятолстых пленок Pd—Ruв процессемагнетронногораспыления мишени Иевлев В. М.Максименко А. А.Белоногов Е. К.2015 год

Ориентированная кристаллизация толстых пленок Pd—Ru в процессе магнетронного распыления мишени

  • Иевлев В. М. и др.
  • 2015 год