1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
  5. Выпуск 2025 г. Том 18. № 7

Изготовление металлической мастер-формы микрофлюидных чипов с помощью лазерной абляции
статья из журнала

Полный текстЗаказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Изготовление металлической мастер-формы микрофлюидных чипов с помощью лазерной абляции / К. А. Лукьяненко, А. С. Якимов, А. И. Пряжников, А. В. Минаков. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. - 2025. - Т. 18, № 7. - С. 906-915. - Библиогр.: с. 915. - ISSN 1999-494X.
Аннотация: Изготовление микрофлюидных чипов с помощью метода лазерной абляции является перспективной альтернативой традиционному методу фотолитографии. Однако неоптимальный выбор параметров лазерного излучения при обработке поверхности может привести к низкому качеству или порчи подложки. В связи с этим актуальной является потребность в систематическом исследовании влияния параметров лазерной обработки на результирующие характеристики микрорельефа подложки. В данной работе рассматриваются особенности изготовления металлической мастер- формы микрофлюидных чипов с помощью лазерной абляции. Подробно обсуждаются методологические аспекты процесса изготовления мастер-формы, связанные с подбором оптимальных параметров лазерного излучения, и выбора материала для изготовления мастер-формы. Показано, что максимальная разрешающая способность микроструктур и каналов при работе с нержавеющей сталью достигается при мощности лазерного излучения 0,6 Вт и частоте 40 кГц. Установлена линейная зависимость глубины канала от количества проходов лазера: 0,5 мкм за 1 проход при скорости 400 мм/с. При работе с алюминием оптимальными параметрами мощности и частоты являются 3 Вт и 30 кГц соответственно. Однако при этом удаления материала с поверхности подложки не происходило, что делает алюминий малопригодным для изготовления мастер-форм. Таким образом, была показана возможность применения метода лазерной абляции для изготовления металлических мастер- форм микрофлюидных чипов. Несмотря на ряд выявленных ограничений, связанных с разрешающей способностью и необходимостью подбора параметров лазерного излучения для каждого типа материала, такой способ является перспективным для экспресс- прототипирования микрофлюидных устройств.
Год издания: 2025
Авторы: Лукьяненко К. А. , Якимов А. С. , Пряжников А. И. , Минаков А. В.
Источник: Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
Выпуск: Т. 18, № 7
Номера страниц: 906-915
Количество экземпляров:

Всего свободно 3 из 3 экземпляров.

  • Читальный зал Б307 (пр. Свободный, 79, к. Б3-07): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Информационно-библиографический отдел (ул. Л. Прушинской, 2, к. 3-06): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Применение аддитивных технологий для разработки микрофлюидных чипов-моделей горных пород

  • Лукьяненко К. А. и др.
  • 2024 год

Экспериментальное исследование генерации водомасляных эмульсий с помощью микрофлюидного чипа

  • Шебелева А. А. и др.
  • 2025 год

Моделирование процесса литья композиционного материала Cu–MMNCr в металлическую форму с…

  • Бусыгин С. Л. и др.
  • 2024 год
Дизайн, структура имеханические свойстваалюминиевых изделий,полученных с помощьюлазерной 3D печати Ильиных М. В.Меркушев А. Г.Казанцева Н. В.2022 год

Дизайн, структура и механические свойства алюминиевых изделий, полученных с помощью лазерной 3D…

  • Ильиных М. В. и др.
  • 2022 год

Зависимость структуры медных анодов от состава противопригарных покрытий и способа их нанесения

  • Бородин А. Д. и др.
  • 2024 год
Анализнеметаллическихвключений в изделияхиз аустенитной стали,полученных с помощьюлазерной 3D печати Казанцева Н. В.Давыдов Д. И.Ежов И. В.2022 год

Анализ неметаллических включений в изделиях из аустенитной стали, полученных с помощью лазерной…

  • Казанцева Н. В. и др.
  • 2022 год
Формирование образцовс ячеистой структуройметодом селективноголазерного спеканияметаллическихпорошков Килина П. Н.Дроздов А. А.Сиротенко Л. Д.2015 год

Формирование образцов с ячеистой структурой методом селективного лазерного спекания металлических…

  • Килина П. Н. и др.
  • 2015 год

The Application of Laser Element Online Analyzer MAYA for Extraction oF Mineral Raw Materials and…

  • Barishnikov A. M. и др.
  • 2014 год

Показать ещё

Высокоточный монтаж лазерных чипов с помощью установки Fineplacer lambda-96

  • 2014 год

Trace-Element Analysis by Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (LA-ICP-MS)

  • Mockel Robert и др.
  • 2012 год
Исследование ударнойвязкостивысокопрочного чугунас шаровиднымграфитом, полученноголитьем вметаллические формы Гасанли Р. К.Асланов З. Ю.2017 год

Исследование ударной вязкости высокопрочного чугуна с шаровидным графитом, полученного литьем в…

  • Гасанли Р. К. и др.
  • 2017 год
Моделирование ростазерен в алюминиевыхсплавах приселективном лазерномплавлении Логинова И. С.Попов Н. А.Солонин А. Н.2022 год

Моделирование роста зерен в алюминиевых сплавах при селективном лазерном плавлении

  • Логинова И. С. и др.
  • 2022 год

Анионообменный синтез оксалата никеля (II) с помощью анионита в С[2]О[4] - форме

  • Сайкова С. В. и др.
  • 2010 год

Получение осадков и пленок диоксида циркония из уротропиновой системы

  • Туленин С. С. и др.
  • 2026 год

Моделирование процесса прессования порошкового алюминия с карбонатом кальция

  • Лапин И. В. и др.
  • 2026 год

Исследование синтеза новых интерметаллических сплавов на подложке из белого высокохромистого чугуна

  • Крименецкий С. С. и др.
  • 2024 год