1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
  5. Выпуск 2025 г. Том 18. № 7

Изготовление металлической мастер-формы микрофлюидных чипов с помощью лазерной абляции
статья из журнала

Полный текстЗаказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Изготовление металлической мастер-формы микрофлюидных чипов с помощью лазерной абляции / К. А. Лукьяненко, А. С. Якимов, А. И. Пряжников, А. В. Минаков. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. - 2025. - Т. 18, № 7. - С. 906-915. - Библиогр.: с. 915. - ISSN 1999-494X.
Аннотация: Изготовление микрофлюидных чипов с помощью метода лазерной абляции является перспективной альтернативой традиционному методу фотолитографии. Однако неоптимальный выбор параметров лазерного излучения при обработке поверхности может привести к низкому качеству или порчи подложки. В связи с этим актуальной является потребность в систематическом исследовании влияния параметров лазерной обработки на результирующие характеристики микрорельефа подложки. В данной работе рассматриваются особенности изготовления металлической мастер- формы микрофлюидных чипов с помощью лазерной абляции. Подробно обсуждаются методологические аспекты процесса изготовления мастер-формы, связанные с подбором оптимальных параметров лазерного излучения, и выбора материала для изготовления мастер-формы. Показано, что максимальная разрешающая способность микроструктур и каналов при работе с нержавеющей сталью достигается при мощности лазерного излучения 0,6 Вт и частоте 40 кГц. Установлена линейная зависимость глубины канала от количества проходов лазера: 0,5 мкм за 1 проход при скорости 400 мм/с. При работе с алюминием оптимальными параметрами мощности и частоты являются 3 Вт и 30 кГц соответственно. Однако при этом удаления материала с поверхности подложки не происходило, что делает алюминий малопригодным для изготовления мастер-форм. Таким образом, была показана возможность применения метода лазерной абляции для изготовления металлических мастер- форм микрофлюидных чипов. Несмотря на ряд выявленных ограничений, связанных с разрешающей способностью и необходимостью подбора параметров лазерного излучения для каждого типа материала, такой способ является перспективным для экспресс- прототипирования микрофлюидных устройств.
Год издания: 2025
Авторы: Лукьяненко К. А. , Якимов А. С. , Пряжников А. И. , Минаков А. В.
Источник: Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
Выпуск: Т. 18, № 7
Номера страниц: 906-915
Количество экземпляров:

Всего свободно 3 из 3 экземпляров.

  • Отдел научно-библиографической работы (пр. Свободный, 79, к. Б3-10): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Электронный читальный зал (пер. Вузовский, 3, к. 131): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Информационно-библиографический отдел (ул. Лиды Прушинской, 2, к. 3-06): свободно 1 из 1 экземпляров