Библиографическое описание:Dynamic Modeling of Multimode Resonance Measuring Mode in Atomic-Force Microscopy with Piezoresistive, Self-Actuating Cantilevers = Динамическое моделирование многомодового резонансного режима измерений в атомно-силовой микроскопии с пьезорезистивными активными кантилеверами / P. S. Marinushkin [и др.]. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. - 2018. - Т. 11, № 6. - С. 645-658 : рис. - Библиогр.: с. 657-658. - ISSN 1999-494X.
Аннотация:Предметом данной работы является рассмотрение вопросов создания динамической модели, описывающей взаимосвязанные механические и электрические процессы в саморегистрирующих активных кантилеверах, функционирующих в многочастотном резонансном режиме. Итогом работы является компьютерная динамическая модель АСМ, позволяющая исследовать процессы формирования сигналов, в управляющем и измерительных контурах АСМ при сканировании образцов в многочастотном режиме.
